Valkoisen valon interferometri absoluuttiseen etäisyyden mittaukseen alle nanometrin tarkkuudella
Uutta valkoisen valon IMS5600-DS-interferometriä käytetään erittäin tarkoissa etäisyyden mittauksissa. Ohjauselektroniikassa on erityinen älykkäällä arvioinnilla varustettu kalibrointi ja se mahdollistaa absoluuttiset mittaukset alle nanometrin tarkkuudella. Interferometriä käytetään mittaussovelluksissa, joissa tarvitaan erittäin suurta tarkkuutta, kuten esimerkiksi elektroniikan ja puolijohteiden tuotannossa.
Ominaisuudet
- Etäisyyden mittausta alle nanometrin tarkkuudella
- Luokkansa paras: Alle 30 pikometrin resoluutio
- Askelprofiilien mittaamiseen sopivaa absoluuttista mittausta
- Kompaktit ja kestävät anturit suurella mittauksen aloitusetäisyydellä
- Jopa 6 kHz:n mittausnopeus nopeita mittauksia varten
- Helppo konfigurointi web-liittymän kautta
- Alipainesovelluksiin sopivat anturit ja kaapelit
Absoluuttista etäisyyden mittausta laajalla mittausalueella ja mittauksen aloitusetäisyydellä.
IMS5600-DS-interferometriä käytetään tarkkoihin siirtymän ja etäisyyden mittauksiin. Järjestelmä tarjoaa absoluuttiset mittausarvot, joten sitä voidaan käyttää myös askelprofiilien etäisyyden mittaamiseen. Absoluuttisen mittauksen ansiosta askeleiden näytteenotto tapahtuu erittäin vakaalla signaalilla. Kun mitataan liikkuvia kohteita, voidaan reunojen, askelten ja painaumien korkeuserot näin tunnistaa luotettavasti. Mittausjärjestelmä tarjoaa alle nanometrin tarkkuuden suurella mittauksen aloitusetäisyydellä suhteessa mittausalueeseen.
Monen huipun etäisyysmittaus
Läpinäkyvien kohteiden monen huipun etäisyysmittauksella arvioidaan samanaikaisesti jopa 14 etäisyysarvoa. Esimerkiksi lasin ja kantolevyn välinen etäisyys on mahdollista määrittää. Ohjain voi laskea lasin paksuuden etäisyysarvojen perusteella.
Suunniteltu suuren tarkkuuden etäisyysmittauksiin alipainesovelluksissa
IMS5600-DS-interferometrejä voidaan käyttää mittaussovelluksiin alipaineympäristöissä ja puhdastiloissa, joissa niillä saavutetaan alle nanometrin mittaustarkkuus. Alipainesovelluksiin Micro-Epsilon tarjoaa erityisiä antureita, kaapeleita ja syöttölaitteita. Nämä anturit ja kaapelit ovat mahdollisimman hiukkasettomia ja niitä voidaan käyttää puhdastiloista ultravakuumitiloihin (UHV).
Vakaat ja erittäin tarkat etäisyyden mittaukset
Ohjauselektroniikka voidaan asentaa sähkökaappiin DIN-kiskoasennuksella. Se tarjoaa erittäin vakaat mittaustulokset aktiivisen lämpötilan kompensoinnin ja passiivisen jäähdytyksen ansiosta. Nämä kompaktit anturit vievät erittäin vähän tilaa ja niissä on hyvin joustavat valokuitukaapelit. Jopa 10 metriä pitkät kaapelit mahdollistavat anturin ja ohjauselektroniikan sijoittamisen etäälle toisistaan. Anturin linjaaminen on helppoa ja nopeaa integroidun ohjauslaserin ansiosta. Käyttöönotto ja parametrointi sujuu kätevästi web-liittymän kautta, eikä edellytä minkään ohjelmiston asentamista.
Useiden pintojen mittaus
Interferometrinen mittausmenetelmä mahdollistaa mittaukset lukuisilta pinnoilta. Tarkat etäisyyden mittaukset onnistuvat heijastavilta metalleilta, muoveilta ja lasilta.
Lukuisia malleja vaativiin mittaustehtäviin
| Model | Mittausalue / Mittausalueen alku |
Lineaarisuus |
Mitattavien kerrosten lukumäärä |
Käyttökohteet |
|---|---|---|---|---|
| IMS5600-DS19 | 2,1 mm / n. 19 mm | ±10 nm | - |
Erittäin tarkat etäisyysmittaukset teollisissa prosesseissa, esimerkiksi tarkkuusvalmistuksessa |
| IMS5600-DS19/VAC | Tarkat paikannustehtävät ja etäisyysmittaukset puhdastilaympäristöissä ja tyhjiössä, esimerkiksi näyttötuotannossa maskin paikannukseen | |||
| IMS5600MP-DS19 | Etäisyysmittaus: 2,1 mm / noin 19 mm Paksuuden mittaus: 0,01 ... 1,3 mm (BK7:lle, n=1,5) / noin 19 mm |
±10 nm ensimmäiselle etäisyydelle ±100 nm kullekin kauempana olevalle etäisyydelle |
Enintään 13 kerrosta | Erittäin tarkat etäisyys- ja paksuusmittaukset teollisissa prosesseissa, esimerkiksi puolijohdetuotannossa kerrosten paksuuksien määrittämiseksi kiekoissa tai LED-valmistuksessa |
| IMS5600MP-DS19/VAC | Erittäin tarkat etäisyys- ja paksuusmittaukset puhdastilaympäristöissä ja tyhjiössä, esimerkiksi puolijohdetuotannossa sijaintien ja rakojen mittojen mittaamiseksi maskeista ja kiekoista |
Käyttöliitymä- ja signalointiyksiköt
Modernit liittymät koneisiin ja järjestelmiin integroimista varten
Ohjain tarjoaa integroituja liittymiä, kuten Ethernet, EtherCAT ja RS422 sekä lisäksi enkooderiliitännät, analogilähdöt, synkronointitulot ja digitaaliset I/O:t. Kun käytät Micro-Epsilonin liitäntämoduuleja, PROFINET ja EthernetIP ovat käytettävissä Näin interferometri voidaan integroida kaikkiin ohjausjärjestelmiin ja tuotanto-ohjelmiin.
