Puolijohdinten valmistuksessa suuri tarkkuus on olennaista. Tärkeä vaihe prosessissa on avointen kohtien limittäminen, jolloin niiden paksuus yhtenäistetään. interferoMETER IMS5420 ‑sarjan valkoisen valon interferometrit kehitettiin paksuuden jatkuvaan valvontaan.
Niissä kaikissa on kompakti anturi ja ohjain vankassa teollisuuslaatuisessa kotelossa. Ohjaimeen integroitu aktiivinen lämpötilan ohjaus varmistaa mittausten suuren vakauden.
Interferometri on saatavana joko paksuusmittauksiin tai multi-peak-paksuusmittauksiin. Paksuuden multi-peak-mittausjärjestelmä voi mitata jopa viiden kerroksen paksuuden, eli kiekon paksuuden, ilmaraon, kalvon ja pinnoitteet >50 µm. Paksuuden mittaamiseen haastavissa ympäristöissä IMS5420IP67-ohjain on saatavana suojausluokassa IP67 ja varustettuna ruostumattomasta teräksestä valmistetulla kotelolla sekä yhteensopivalla kuituoptiikalla ja antureilla.
Edut
- Nanometrintarkka seostettujen, seostamattomien ja voimakkaasti seostettujen kiekkojen mittaus
- Multi-peak: jopa 5 kerroksen havaitseminen, SI-paksuus 0,05–1,05 mm
- Korkea 1 nm:n erottelukyky z-akselilla
- Jopa 6 kHz:n mittausnopeus nopeita mittauksia varten
- Ethernet / EtherCAT / RS422 / PROFINET / EtherNet/IP
- Yksinkertaiset parametriasetukset web-liittymän kautta