Kiekkojen ulkonemien korkeusmittaus

Tähän asti pienet 50–350 µm:n ulkonemat tarkistetaan normaalisti kamerajärjestelmillä tuotannon aikana. Tämän menetelmän merkittävä haittapuoli on, että vain ulkoneman olemassanolo tai sijainti tarkistetaan. Korkeus voidaan määrittää vain offline-tilassa mittausmikroskoopilla otettuja leikkauksia käyttäen. Siksi tähän käytetään Micro-Epsilonin konfokaalisia antureita. Ne mittaavat tarkasti tietokonesirujen kiiltävät ja strukturoidut pinnat. Keskitetyn valopisteen ansiosta saadaan aikaan myös noin 4 µm:n sivuttaisresoluutio.