Valkoisen valon interferometri absoluuttiseen etäisyyden mittaukseen nanometrin tarkkuudella
Uusi valkoisen valon IMS5400-DS-interferometri avaa uusia mahdollisuuksia teollisessa etäisyyden mittauksessa. Ohjauselektroniikassa on älykäs arviointitoiminto ja se mahdollistaa absoluuttiset mittaukset nanometrin tarkkuudella melko suurella mittauksen aloitusetäisyydellä. Muihin absoluuttisiin optisiin mittausjärjestelmiin verrattuna IMS5400-DS tarjoaa ylivoimaisen yhdistelmän tarkkuutta, mittausetäisyyttä ja mittauksen aloitusetäisyyttä.
Ominaisuudet
- Nanometrin tarkkaa etäisyyden mittausta
- Askelprofiilien mittaamiseen sopivaa absoluuttista mittausta
- Kompaktit ja kestävät anturit suurella mittauksen aloitusetäisyydellä
- Jopa 6 kHz:n mittausnopeus nopeita mittauksia varten
- Passiivisella jäähdytyksellä varustettu kestävä ohjauselektroniikka
- Helppo konfigurointi verkkoliittymän kautta
Absoluuttista etäisyyden mittausta nanometrin tarkkuudella
IMS5400-DS-interferometriä käytetään tarkkoihin siirtymän ja etäisyyden mittauksiin. Toisin kuin tavalliset interferometrit IMS5400-DS mahdollistaa myös askelprofiilien vakaan mittaamisen. Absoluuttisen mittauksen ansiosta askeleen skannaaminen tapahtuu korkealla signaalin vakaudella ja tarkkuudella. Kun mitataan liikkuvia kohteita, voidaan reunojen, askelten ja painaumien korkeuserot näin tunnistaa luotettavasti.
Monen huipun etäisyysmittaus
Läpinäkyvien kohteiden monen huipun etäisyysmittauksella arvioidaan samanaikaisesti jopa 14 etäisyysarvoa. Esimerkiksi lasin ja kantolevyn välinen etäisyys on mahdollista määrittää. Lisäksi ohjain voi laskea lasin paksuuden etäisyysarvojen perusteella.
Ihanteellinen valinta teollisuusympäristöihin
Kestävien antureiden ja metallikoteloidun ohjauselektroniikan ansiosta järjestelmä sopii erinomaisesti tuotantolinjoille integroitavaksi. Ohjauselektroniikka voidaan asentaa sähkökaappiin DIN-kiskoasennuksella. Se tarjoaa erittäin vakaat mittaustulokset aktiivisen lämpötilan kompensoinnin ja passiivisen jäähdytyksen ansiosta. Nämä kompaktit anturit vievät erittäin vähän tilaa, joten ne voidaan integroida ahtaisiinkin tiloihin. Saatavilla on erittäin joustavia valokuitukaapeleita jopa 10 metrin pituisina. Ne mahdollistavat anturin ja ohjauselektroniikan sijoittamisen eri paikkaan. Käyttöönotto ja parametrointi sujuu kätevästi web-liittymän kautta, eikä edellytä minkään ohjelmiston asentamista.
Pienellä valopisteellä voidaan tunnistaa pienimmätkin yksityiskohdat ja rakenteet
Anturit tuottavat pienen valopisteen koko mittausalueelle. Valopisteen halkaisija on vain 10 µm ja se mahdollistaa pientenkin yksityiskohtien kuten puolijohteiden ja pienoiskokoisten elektroniikkakomponenttien rakenteiden tunnistuksen.
Useiden pintojen mittaus
Interferometrinen mittausmenetelmä mahdollistaa mittaukset lukuisilta pinnoilta. Se mahdollistaa tarkat etäisyyden mittaukset heijastavilta metalleilta, muoveilta ja lasilta.
Lukuisia malleja vaativiin mittaustehtäviin
| Malli | Mittausalue / Mittausalueen alku |
Lineaarisuus |
Mitattavien kerrosten lukumäärä |
Käyttökohteet |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-DS19 | 2,1 mm / noin 19 mm | ±50 nm | - | Teollisuuden etäisyysmittaukset esimerkiksi tarkkuusvalmistuksessa |
| IMS5400-DS19/VAC | Tarkat paikannustehtävät ja etäisyysmittaukset puhdastilaympäristöissä ja tyhjiössä, esimerkiksi näyttötuotannossa maskin paikannukseen | |||
| IMS5400MP-DS19 | Etäisyysmittaus: 2,1 mm / noin 19 mm Paksuusmittaus: 0,01 ... 1,3 mm (BK7:lle, n=1.5) / noin 19 mm |
±50 nm ensimmäiselle etäisyydelle ±150 nm kullekin kauempana olevalle etäisyydelle |
Enintään 13 kerrosta |
Teollisuusluokan etäisyys- ja paksuusmittaus esimerkiksi tasolasin tuotannossa |
| IMS5400MP-DS19/VAC | Tarkka etäisyys- ja paksuusmittaus puhdastilaympäristöissä ja tyhjiössä, esimerkiksi näyttötuotannossa etäisyyden ja raon mittausta varten |
Käyttöliitymä- ja signalointiyksiköt
Modernit liittymät koneisiin ja järjestelmiin integroimista varten
Ohjain tarjoaa integroituja liittymiä, kuten Ethernet, EtherCAT ja RS422 sekä lisäksi enkooderiliitännät, analogilähdöt, synkronointitulot ja digitaaliset I/O:t. Kun käytät Micro-Epsilonin liitäntämoduuleja, PROFINET ja EthernetIP ovat käytettävissä Näin interferometri voidaan integroida kaikkiin ohjausjärjestelmiin ja tuotanto-ohjelmiin.
