Kiekkoaseman asemointi valkoisen valon interferometrien avulla

Micro-Epsilonin valkoisen valon interferoMETER IMS5600:aa käytetään kiekkoaseman asennon valvontaan. Se mittaa aseman XYZ-liikkeet kiihtyen erittäin nopeasti. Erittäin tarkan optisen mittausjärjestelmän resoluutio on nanometriluokkaa, millä varmistetaan se, että kiekko asemoidaan valotusta varten nanometrin tarkkuudella. Alipainesovelluksiin sopivien mittauspäiden ansiosta mittausjärjestelmää voidaan käyttää alipaineessa. Se ei myöskään reagoi voimakkaisiin magneettikenttiin.