Kiekkoaseman asemointi

Kiekkoaseman asemointiin käytetään Micro-Epsilonin kosketuksettomia antureita. Ne mittaavat aseman erittäin dynaamisia XYZ-suuntaisia nopeasti kiihtyviä liikkeitä. Kapasitiiviset ja induktiiviset (pyörrevirtaan perustuvat) anturit yltävät nanometrin resoluutioon. Näin varmistetaan, että kiekko on tarkasti asemoitu valotusprosessia varten. Näitä innovatiivisia antureita voidaan käyttää tyhjiösovelluksissa, eivätkä voimakkaat magneettikentät vaikuta niiden toimintaan.