Kiekkojen paksuuden mittaus / TTV

Konfokaaliset anturi mittaavat paksuuden vaihtelun (Total Thickness Variation) ja kiekon paksuuden molemmilta puolilta. Kiekon paksuusprofiilin perusteella voidaan laskea sen taipuma ja vääntymä. Korkean mittausnopeuden ansiosta koko kiekon paksuus tunnistetaan lyhyessä jaksoajassa.