Korkean erottelukyvyn kapasitiivinen anturijärjestelmä
Kapasitiiviset siirtymäanturit on suunniteltu mittaustehtäviin, joissa tarvitaan erittäin tarkkoja tuloksia. Kapasitiivinen capaNCDT 6500 -monikanavajärjestelmä sopii erinomaisesti mittauksiin, joissa tarvitaan jopa alle nanometrin tarkkuutta. Ohjauselektroniikan suurin vastenopeus on 7,8 kHz (digitalinen, enintään neljä kanavaa) tai taajuusvaste 8,5 kHz. Analogisen lähdön lisäksi saatavilla on myös EtherCAT-liitäntä. EtherCAT mahdollistaa tarkan tiedonsiirron reaaliaikaisesti, se on nopea integroida käytössä olevaan mittausympäristöön ja mahdollistaa kahden järjestelmän synkronoinnin. capaNCDT 6500 -järjestelmän asetukset ja konfigurointi on helppo tehdä verkkoselainta käyttäen.
- Mittausalueet (mm):
0,05 | 0,2 | 0,5 | 1 | 2 | 3 | 5 | 10 - Lineaarisuus enint. 0,01 µm
- Erottelukyky enint. 0,0375 nm
- Erittäin suuri vakaus ja tarkkuus
- Erottelukyky alle nanometrin alueella
- Modulaarinen – enintään 8 kanavaa
- Ulkoinen tai sisäinen esivahvistin
- Ethernet-liitin
- Kulumaton ja huoltovapaa
- Lineaariset ominaisuudet
- Sopii kaikille sähköä johtaville materiaaleille
- Korkeat mittausnopeudet
Enimmäistarkkuus
capaNCDT 6500 -järjestelmä on suunniteltu mittaustehtäviin, joissa vaaditaan nanometriä pienempää mittaustarkkuutta. Se on tehokas erityisesti puolijohdeteollisuuden laboratoriosovelluksissa käytettävissä asemointitehtävissä. Modulaarinen capaNCDT 6500 on suunniteltu monikanavasovelluksille. Enintään kahdeksan anturia voidaan kytkeä esivahvistimelta signaalinmuokkauslaitteistolle.
Helppokäyttöisyys web-liittymän kautta
Ohjauselektroniikan ja anturien koko asetustenmääritysprosessi voidaan suorittaa ilman lisäohjelmia sen käyttäjäystävällisen web-käyttöliittymän ansiosta. Web-liittymän asennus ja asetusten määritys voidaan tehdä lähiverkon kautta ja se tarjoaa määritys- ja asetusvaihtoehdot suodattimille, laskulinkeille ja muille parametreille, kuten triggaukselle, mittausarvon tallentamiselle ja linearisoinnille.
Kapasitiivinen DT6530-ohjauselektroniikka tarjoaa erinomaisen resoluution ja signaalivakauden kapasitiiviseen siirtymän mittaukseen. Ohjauselektroniikkaa voidaan käyttää jopa 8 kanavalla, ja se soveltuu sähköä johtavien kohteiden lisäksi myös eristeiden mittaamiseen. Analogisten lähtöjen lisäksi ohjauselektroniikassa on myös digitaalinen Ethernet-käyttöliittymä. DT6530-ohjauselektroniikka on yhteensopiva kaikkien capaNCDT-sarjan antureiden ja kaapeleiden kanssa.
- Resoluution dynamiikka 0,002 % FSO (8,5 kHz)
- Kaistaleveys 8,5 kHz (-3 dB) (vaihdettava 20 Hz; 1k Hz; 8,5 kHz)
- Analogilähtö 0–10 V (oikosulkusuojaus), 4–20 mA; 0–20 mA
- Digitaalinen käyttöliittymä Ethernet 24 Bit; EtherCAT
- Erikoissovitus: jopa nelinkertainen kaapelipituus
Asennuskehys on suunniteltu käytettäväksi kaksipuolisissa paksuuden mittauksissa kapasitiivisten antureiden kanssa. Se helpottaa mittauspisteiden keskinäistä linjaamista. Kehyksen avulla anturit saadaan tarkasti yhdelle akselille, jolloin mittauspisteet järjestyvät yhdenmukaisesti. Näin estetään mittausten poikkeamat ja saadaan luotettava ja mahdollisimman tarkka mittaustulos. Asennuskehyksiin mahtuu enintään 6 anturia. Kaksi anturia muodostavat aina mittauspisteen.
- Monikanavainen paksuuden mittaus jopa 3 pisteestä samaan aikaan
- Korkea lämpötilavakaus takaa tarkat mittaukset lämpötilan ollessa jopa 100 °C
- Sopii alipainesovelluksiin
- Erittäin kompakti rakenne
- Helppo integroida ja asentaa käytössä oleviin järjestelmiin
- Yhteensopiva capaNCDT-antureiden kanssa
- Kalibroitavissa tarkkaa paksuuden mittausta varten
