Korkean erottelukyvyn kapasitiivinen anturijärjestelmä

Nanometer multi-channel system
capaNCDT 6500
Nanometer multi-channel system

Kapasitiiviset siirtymäanturit on suunniteltu mittaustehtäviin, joissa tarvitaan erittäin tarkkoja tuloksia. Kapasitiivinen capaNCDT 6500 -monikanavajärjestelmä sopii erinomaisesti mittauksiin, joissa tarvitaan jopa alle nanometrin tarkkuutta. Ohjauselektroniikan suurin vastenopeus on 7,8 kHz (digitalinen, enintään neljä kanavaa) tai taajuusvaste 8,5 kHz. Analogisen lähdön lisäksi saatavilla on myös EtherCAT(R)-liitäntä. EtherCAT mahdollistaa tarkan tiedonsiirron reaaliaikaisesti, se on nopea integroida käytössä olevaan mittausympäristöön ja mahdollistaa kahden järjestelmän synkronoinnin. capaNCDT 6500 -järjestelmän asetukset ja konfigurointi on helppo tehdä verkkoselainta käyttäen.

Ominaisuudet
  • Mittausalueet (mm):
    0,05 | 0,2 | 0,5 | 1 | 2 | 3 | 5 | 10
  • Lineaarisuus enint. 0,01 µm
  • Erottelukyky enint. 0,0375 nm
  • Erittäin suuri vakaus ja tarkkuus
  • Erottelukyky alle nanometrin alueella
  • Modulaarinen – enintään 8 kanavaa
  • Ulkoinen tai sisäinen esivahvistin
  • Ethernet-liitin
  • Kulumaton ja huoltovapaa
  • Lineaariset ominaisuudet
  • Sopii kaikille sähköä johtaville materiaaleille
  • Korkeat mittausnopeudet

Enimmäistarkkuus

capaNCDT 6500 -järjestelmä on suunniteltu mittaustehtäviin, joissa vaaditaan nanometriä pienempää mittaustarkkuutta. Se on tehokas erityisesti puolijohdeteollisuuden laboratoriosovelluksissa käytettävissä asemointitehtävissä. Modulaarinen capaNCDT 6500 on suunniteltu monikanavasovelluksille. Enintään kahdeksan anturia voidaan kytkeä esivahvistimelta signaalinmuokkauslaitteistolle.

Helppokäyttöisyys web-liittymän kautta

Ohjauselektroniikan ja anturien koko asetustenmääritysprosessi voidaan suorittaa ilman lisäohjelmia sen käyttäjäystävällisen web-käyttöliittymän ansiosta. Web-liittymän asennus ja asetusten määritys voidaan tehdä lähiverkon kautta ja se tarjoaa määritys- ja asetusvaihtoehdot suodattimille, laskulinkeille ja muille parametreille, kuten triggaukselle, mittausarvon tallentamiselle ja linearisoinnille.

Klapper_Controller-capaNCDT-6530_500x250

Kapasitiivinen DT6530-ohjauselektroniikka tarjoaa erinomaisen resoluution ja signaalivakauden kapasitiiviseen siirtymän mittaukseen. Ohjauselektroniikkaa voidaan käyttää jopa 8 kanavalla, ja se soveltuu sähköä johtavien kohteiden lisäksi myös eristeiden mittaamiseen. Analogisten lähtöjen lisäksi ohjauselektroniikassa on myös digitaalinen Ethernet-käyttöliittymä. DT6530-ohjauselektroniikka on yhteensopiva kaikkien capaNCDT-sarjan antureiden ja kaapeleiden kanssa.

Ominaisuudet
  • Resoluution dynamiikka 0,002 % FSO (8,5 kHz)
  • Kaistaleveys 8,5 kHz (-3 dB) (vaihdettava 20 Hz; 1k Hz; 8,5 kHz)
  • Analogilähtö 0–10 V (oikosulkusuojaus), 4–20 mA; 0–20 mA
  • Digitaalinen käyttöliittymä Ethernet 24 Bit; EtherCAT
  • Erikoissovitus: jopa nelinkertainen kaapelipituus

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
Vantaankoskentie 14
01670 Vantaa, Finland
jouko.kuosmanen@micro-epsilon.fi
+358 40 8484 109