Konfokaaliset anturit

confocalDT IFS 2402

Useita sovellutuksia voidaan ratkaista eri anturimalleja käyttämällä. Pienikokoisia antureita on saatavilla aksiaalisella ja säteittäisellä mittaussuunnalla korkeatarkkuuksisissa mittaustehtävissä käytettävien vakioantureiden lisäksi. Anturit ovat passiivisia, eivät säteile lämpöä kohteeseen ja voidaan käyttää mallista riippuen eri ympäristöissä, kuten tyhjiössä.

Klapper_IFS-2402_500x250

ConfocalDT IFS2402 -anturit ovat erikoistarkkoihin sovelluksiin sopivia  siirtymän mittaamiseen suunniteltuja antureita.
Pienoisanturi IFS2402 vain 4 mm ulkohalkaisijalla ja ruostumattomasta teräksestä valmistetulla kotelolla sopii käyttöön pienissä onteloissa tai porarei'issä.

Ominaisuudet
  • Mittausalueet (mm):
    0,4 | 1,5 | 2,5 | 3,5
  • Lineaarisuus enint. 0,3 µm
  • Erottelukyky enint. 0,016 µm
  • Ainutlaatuisen pienikokoinen anturi
  • Mittaus porarei'issä
  • Vankka rakenne
  • Akselin suuntainen ja säteittäinen versio
Klapper_IFS-2403_500x250

ConfocalDT IFS2403 -mittausanturit yhdistävät kahden onnistuneen  mallikonseptin edut. 8 mm ulkohalkaisijalla nämä anturit ovat yhtä pienikokoisia kuin confocalDT IFS2402 -pienoisanturisarja. Suuremman aukkokulman ansiosta nämä anturit vastaanottavat huomattavasti enemmän heijastunutta valoa kuin pienempi 4 mm halkaisijan versio.

Ominaisuudet
  • Mittausalueet (mm):
    0,4 | 1,5 | 4 | 10
  • Lineaarisuus enint. 0,3 µm
  • Erottelukyky enint. 0,016 µm
  • Hybridirakenteinen Titaanikotelo
  • Pidempi perusetäisyys
  • Akselinsuuntainen mittaus
  • Passiivinen mittausjärjestelmä
Klapper_IFS-2404-2_500x250

confocalDT IFS2404 -siirtymäanturit on suunniteltu tarkkuussovelluksille rajoitetussa asennustilassa. Nämä anturit perustuvat erityiseen objektiiviteknologiaan ja tarjoavat korkean resoluution ja valopisteen pienen läpimitan. Ne soveltuvat ihanteellisesti suurivolyymisiin sovelluksiin.

Ominaisuudet
  • Mittausalue 2mm
  • Lineaarisuus enint. 1 µm
  • Resoluutio 0,040 µm
  • Etäisyyden ja paksuuden mittaus yhdeltä puolelta
confocal-sensor-IFS2404-90-2

confocalDT IFS2404/90-2 90° -anturi on suunniteltu siirtymän, etäisyyden, sijainnin ja paksuuden tarkkaan mittaamiseen. Anturissa on 90°:n linssi, jonka ansiosta se soveltuu asennettavaksi ahtaisiin tiloihin. 2404-sarjan anturit perustuvat erityiseen linssiteknologiaan ja tarjoavat korkean resoluution sekä läpimitaltaan pienen valopisteen. Ne sopivat erittäin hyvin sovelluksiin, joissa käsitellään suuria tuotemääriä.

Ominaisuudet
  • Mittausalue 2 mm
  • Lineaarisuus enint. 1 µm
  • Resoluutio 0,040 µm
  • Sovelluksiin, joissa käsitellään suuria tuotemääriä
  • 90°:n linssi mahdollistaa asennuksen ahtaisiin tiloihin
Klapper_IFS-2405_500x250

ConfocalDT IFS 2405 -anturit ovat erikoistarkkoihin sovelluksiin sopivia  siirtymän mittaamiseen suunniteltuja antureita.
Anturit on saatavissa vakioversioina ja koko maailmassa ainutlaatuisella minirakenteella. Confocal-anturit mittaavat monia pintoja, joilla on erilaiset heijastusominaisuudet. Niitä käytetään paksuusmittauksiin yhdeltä puolelta.

Ominaisuudet
  • Mittausalueet (mm):
    0,300 | 1 | 3 | 6 | 10 | 28 | 30
  • Lineaarisuus enint. 0,15 µm
  • Erottelukyky enint. 0,01 µm
  • Erittäin pieni mittauspiste
  • Korkea mittaustarkkuus myös peileistä ja lasista
  • Nanoerottelukyky
  • Paksuuden mittaus yhdestä suunnasta
Klapper_IFS-2406_500x250

Confocal IFS2406 -sarja erottuu pienikokoisella rakenteellaan ja suurella tarkkuudellaan. Heijastavien tai läpinäkyvien pintojen etäisyysmittauksien lisäksi anturia voidaan käyttää läpinäkyvien kalvojen, levyjen tai kerrosten paksuuden mittaukseen yhdestä suunnasta. Akselinsuuntaisen ja säteittäisen mittaussuuntansa ansiosta IFS2406-2,5-anturit sopivat tyhjiösovelluksiin ja ovat muutoinkin erittäin monikäyttöisiä.

Ominaisuudet
  • Mittausalueet (mm):
    2,5 | 3 | 10
  • Lineaarisuus enint. 0,75 µm
  • Erottelukyky enint. 0,024 µm
  • Etäisyyden ja paksuuden mittaus yhdestä suunnasta
  • Pieni valopiste
  • Tyhjiökäyttöön sopiva anturi
Klapper_IFS-2407_500x250

Konfocal-anturi confocalDT IFS2407/90-0,3 90° on suunniteltu siirtymien ja pinnan karkeuden tarkkaan mittaamiseen. Anturissa on 90°:een linssi, joten se sopii erinomaisesti asennettavaksi ahtaisiin tiloihin. Anturissa oleva linssi luo pienen mittauspisteen, minkä vuoksi alueellinen resoluutio on hyvä. Pieni mittauspiste ja suuri kallistuskulma sopivat karkeuden mittaukseen, jossa vaaditaan äärimmäistä tarkkuutta.

Ominaisuudet
  • Mittausalue (mm): 0,3
  • Lineaarisuus: enint. 0,75 µm
  • Resoluutio: enint. 10 nm
  • Sopii erinomaisesti siirtymien ja karkeuden mittaukseen
  • Pieni mittauspiste: 6 µm
  • Erinomainen tarkkuus ja suuri kallistuskulma
Klapper_IFS-2407-0,1_500x250

ConfocalDT IFS2407-0,1 -anturi on suunniteltu erittäin tarkkoihin etäisyyden, karheuden ja paksuuden mittauksiin. Korkea numeerinen aukko (NA 0,8) mahdollistaa sellaisten läpinäkyvien objektien paksuuden mittaamisen, joiden paksuus on vähintään 5 µm. Toinen valointensiivinen anturimalli, jonka aukko on NA 0,7, on suunniteltu erityisesti nopeisiin prosesseihin.

Ominaisuudet
  • Mittausalue (mm): 0,1 Lineaarisuus: enint. 0,05 µm
  • Resoluutio: enint. 3 nm
  • Ihanteellinen etäisyys- ja karheusmittauksiin
  • Kevytintensiivinen anturiversio saatavana suurnopeusprosesseille (NA 0,7)
  • Pieni mittauspisteen koko: 3 µm
  • Suuri herkkyys ja suuri kallistuskulma
  • Läpinäkyvien esineiden paksuusmittaus alk. 5 µm
confocal-chromatic-sensors-IFS2407-3

Konfokaalisella confocalDT IFS2407-3 -anturilla on suuri 3 mm:n mittausalue ja mittauksen aloitusetäisyys on pitkä. Suuren ± 30°:n kallistuskulman ansiosta anturi soveltuu erityisen hyvin kaarevien pintojen mittaamiseen (esim. hammasrattaat tai ulkokierteet).

Ominaisuudet
  • Mittausalue (mm): 3
  • Lineaarisuus: enint. 0,75 µm
  • Resoluutio: enint. 20 nm
  • Pitkä mittauksen aloitusetäisyys: n. 28 mm
  • Suurin kallistuskulma ± 30°
  • Ihanteellinen kaarevien ja heijastavien pintojen mittaamiseen

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
Vantaankoskentie 14
01670 Vantaa, Finland
jouko.kuosmanen@micro-epsilon.fi
+358 40 8484 109