Konfokaaliset anturit tarkkaan etäisyyden, pinnan karheuden ja paksuuden mittaukseen
Konfokaaliset IFS2407 anturit on suunniteltu tarkkoihin etäisyyden, pinnankarheuden ja paksuuden mittauksiin. Nämä konfokaaliset kromaattiset anturit tarjoavat laajan numeerisen aukon, halkaisijaltaan pienen valopisteen ja sallivat myös asennuksessa suuren mittauskulman, joten anturi sopii myös pinnankarheuden mittauksiin. Anturilla saavutetaan vakuuttava nanometrin tarkkuus.
confocalDT IFS2407-0,1
- Mittausalue (mm): 0,1
- Lineaarisuus: enint. 0,05 µm
- Resoluutio: enint. 3 nm
- Ihanteellinen etäisyys- ja karheusmittauksiin
- Valointensiivinen anturiversio saatavana nopeisiin prosesseihin (NA 0,7)
- Pieni mittauspisteen koko: 3 µm
- Suuri herkkyys ja laaja mittauskulma
- Läpinäkyvien esineiden paksuusmittaus alk. 5 µm
confocalDT IFS2407-0,8
Mittausalue (mm): 0,8
Lineaarisuus max. 0,2 µm
Resoluutio max. 24 nm
Pieni mittauspiste
Tilaa säästävä anturi design
Tarkka etäisyyden mittaus, myös kaarevilta pinnoilta
Sopii erityisen hyvin ohuiden materiaalien paksuuden mittaukseen
confocalDT IFS2407-3
- Mittausalue (mm): 3
- Lineaarisuus: enint. 0,75 µm
- Resoluutio: enint. 20 nm
- Suuri siirtymäetäisyys, n. 28 mm
- Suurin mittauskulma ± 30°
- Erinomainen valinta kaarevien ja heijastavien pintojen mittaamiseen
confocalDT IFS2407/90-0,3
- Mittausalue (mm): 0,3
- Lineaarisuus: enint. 0,75 µm
- Resoluutio: enint. 10 nm
- Sopii erinomaisesti siirtymien ja karkeuden mittaukseen
- Pieni mittauspiste: 6 µm
- Suuri herkkyys ja laaja mittauskulma
