Konfokaalinen anturi tarkkaan etäisyyden-, pinnankarheuden- ja paksuuden mittaukseen
Konfokaaliset IFS2407 anturit on suunniteltu tarkkoihin etäisyyden, pinnankarheuden ja paksuuden mittauksiin. Nämä anturit tarjoavat laajan numeerisen aukon, pienen mittauspisteen ja sallivat myös asennuksessa suuren kallistuskulman. Tämä tarkoittaa samalla myös sitä, että anturi sopii pinnankarheuden mittauksiin. Anturilla saavutetaan vakuuttava nanometrin tarkkuus.
confocalDT IFS2407-0,1
- Mittausalue (mm): 0,1
- Lineaarisuus: enint. 0,05 µm
- Resoluutio: enint. 3 nm
- Ihanteellinen etäisyys- ja karheusmittauksiin
- Kevytintensiivinen anturiversio saatavana suurnopeusprosesseille (NA 0,7)
- Pieni mittauspisteen koko: 3 µm
- Suuri herkkyys ja suuri kallistuskulma
- Läpinäkyvien esineiden paksuusmittaus alk. 5 µm
confocalDT IFS2407-0,8
Mittausalue (mm): 0,8 Lineaarisuus max. 0,2 µm Resoluutio max. 24 nm Pieni mittauspiste Tilaa säästävä anturi design Tarkka etäisyyden mittaus, myös kaarevilta pinnoilta Sopii erityisen hyvin ohuiden materiaalien paksuuden mittaukseen
confocalDT IFS2407-3
- Mittausalue (mm): 3
- Lineaarisuus: enint. 0,75 µm
- Resoluutio: enint. 20 nm
- Pitkä mittauksen aloitusetäisyys: n. 28 mm
- Suurin kallistuskulma ± 30°
- Ihanteellinen kaarevien ja heijastavien pintojen mittaamiseen
confocalDT IFS2407/90-0,3
- Mittausalue (mm): 0,3
- Lineaarisuus: enint. 0,75 µm
- Resoluutio: enint. 10 nm
- Sopii erinomaisesti siirtymien ja karkeuden mittaukseen
- Pieni mittauspiste: 6 µm
- Erinomainen tarkkuus ja suuri kallistuskulma
