Valkoisen valon interferometri absoluuttiseen etäisyyden mittaukseen nanometrin tarkkuudella

Absoluuttiset etäisyysmittaukset mahdollisimman tarkasti
interferoMETER IMS5400-DS
Absoluuttiset etäisyysmittaukset mahdollisimman tarkasti
Uutuus:

Uusi valkoisen valon IMS5400-DS-interferometri avaa uusia mahdollisuuksia teollisessa etäisyyden mittauksessa. Ohjauselektroniikassa on älykäs arviointitoiminto ja se mahdollistaa absoluuttiset mittaukset nanometrin tarkkuudella melko suurella mittauksen aloitusetäisyydellä. Muihin absoluuttisiin optisiin mittausjärjestelmiin verrattuna IMS5400-DS tarjoaa ylivoimaisen yhdistelmän tarkkuutta, mittausetäisyyttä ja mittauksen aloitusetäisyyttä.

Ominaisuudet
  • Nanometrin tarkkaa etäisyyden mittausta
  • Askelprofiilien mittaamiseen sopivaa absoluuttista mittausta
  • Kompaktit ja kestävät anturit suurella mittauksen aloitusetäisyydellä
  • Jopa 6 kHz:n mittausnopeus nopeita mittauksia varten
  • Passiivisella jäähdytyksellä varustettu kestävä ohjauselektroniikka
  • Helppo konfigurointi verkkoliittymän kautta

Absoluuttista etäisyyden mittausta nanometrin tarkkuudella

IMS5400-DS-interferometriä käytetään tarkkoihin siirtymän ja etäisyyden mittauksiin. Toisin kuin tavalliset interferometrit IMS5400-DS mahdollistaa myös askelprofiilien vakaan mittaamisen. Absoluuttisen mittauksen ansiosta askeleen skannaaminen tapahtuu korkealla signaalin vakaudella ja tarkkuudella. Kun mitataan liikkuvia kohteita, voidaan reunojen, askelten ja painaumien korkeuserot näin tunnistaa luotettavasti.

Monen huipun etäisyysmittaus

Läpinäkyvien kohteiden monen huipun etäisyysmittauksella arvioidaan samanaikaisesti jopa 14 etäisyysarvoa. Esimerkiksi lasin ja kantolevyn välinen etäisyys on mahdollista määrittää. Lisäksi ohjain voi laskea lasin paksuuden etäisyysarvojen perusteella.

Ihanteellinen valinta teollisuusympäristöihin

Kestävien antureiden ja metallikoteloidun ohjauselektroniikan ansiosta järjestelmä sopii erinomaisesti tuotantolinjoille integroitavaksi. Ohjauselektroniikka voidaan asentaa sähkökaappiin DIN-kiskoasennuksella. Se tarjoaa erittäin vakaat mittaustulokset aktiivisen lämpötilan kompensoinnin ja passiivisen jäähdytyksen ansiosta. Nämä kompaktit anturit vievät erittäin vähän tilaa, joten ne voidaan integroida ahtaisiinkin tiloihin. Saatavilla on erittäin joustavia valokuitukaapeleita jopa 10 metrin pituisina. Ne mahdollistavat anturin ja ohjauselektroniikan sijoittamisen eri paikkaan. Käyttöönotto ja parametrointi sujuu kätevästi web-liittymän kautta, eikä edellytä minkään ohjelmiston asentamista.

Pienellä valopisteellä voidaan tunnistaa pienimmätkin yksityiskohdat ja rakenteet

Anturit tuottavat pienen valopisteen koko mittausalueelle. Valopisteen halkaisija on vain 10 µm ja se mahdollistaa pientenkin yksityiskohtien kuten puolijohteiden ja pienoiskokoisten elektroniikkakomponenttien rakenteiden tunnistuksen.

Useiden pintojen mittaus

Interferometrinen mittausmenetelmä mahdollistaa mittaukset lukuisilta pinnoilta. Se mahdollistaa tarkat etäisyyden mittaukset heijastavilta metalleilta, muoveilta ja lasilta.

Lukuisia malleja vaativiin mittaustehtäviin

MalliMittausalue /
Mittausalueen alku
LineaarisuusMitattavien kerrosten lukumäärä
Käyttökohteet
IMS5400-DS192,1 mm / noin 19 mm±50 nm-

Teollisuuden etäisyysmittaukset
esimerkiksi tarkkuusvalmistuksessa

IMS5400-DS19/VAC

Tarkat paikannustehtävät ja etäisyysmittaukset puhdastilaympäristöissä ja tyhjiössä, esimerkiksi näyttötuotannossa maskin paikannukseen

IMS5400MP-DS19Etäisyysmittaus:
2,1 mm / noin 19 mm
Paksuusmittaus:
0,01 ... 1,3 mm (BK7:lle, n=1.5) / noin 19 mm
±50 nm ensimmäiselle etäisyydelle
±150 nm kullekin kauempana olevalle etäisyydelle
Enintään 13 kerrostaTeollisuusluokan etäisyys- ja paksuusmittaus esimerkiksi tasolasin tuotannossa
IMS5400MP-DS19/VACTarkka etäisyys- ja paksuusmittaus puhdastilaympäristöissä ja tyhjiössä,
esimerkiksi näyttötuotannossa etäisyyden ja raon mittausta varten

Modernit liittymät koneisiin ja järjestelmiin integroimista varten

Ohjain tarjoaa integroituja liittymiä, kuten Ethernet, EtherCAT ja RS422 sekä lisäksi enkooderiliitännät, analogilähdöt, synkronointitulot ja digitaaliset I/O:t. Kun käytät Micro-Epsilonin liitäntämoduuleja, PROFINET ja EthernetIP ovat käytettävissä Näin interferometri voidaan integroida kaikkiin ohjausjärjestelmiin ja tuotanto-ohjelmiin.

Analog RS422 Ethernet Ethercat Profinet EthernetIP

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
Vantaankoskentie 14
01670 Vantaa, Finland
jouko.kuosmanen@micro-epsilon.fi
+358 40 8484 109