Valkoisen valon interferometri vakaisiin paksuuden mittauksiin alle nanometrin tarkkuudella

High precision thickness measurements of thinnest glass and films
interferoMETER IMS5400-TH
High precision thickness measurements of thinnest glass and films
Uutuus:

Uusi valkoisen valon IMS5400-TH-DS-interferometri avaa uusia mahdollisuuksia teollisessa paksuuden mittauksessa. Ohjauselektroniikka tarjoaa älykkään arviointitoiminnon ja mahdollistaa erittäin tarkan läpinäkyvien kohteiden paksuuden mittauksen.

Ominaisuudet
  • Nanometrin tarkkaa paksuuden mittausta jopa vaihtelevilla etäisyyksillä ja tärisevillä mittauskohteilla
  • Vakaat mittaukset pitkältä etäisyydeltä ja jopa heijastuksenestopinnoitetuista kohteista
  • Teollisuuskäyttöön optimoidut anturit kestävällä metallikoteloinnilla ja joustavilla kaapeleilla
  • Jopa 6 kHz:n mittausnopeus nopeita mittauksia varten
  • Helppo konfigurointi web-liittymän kautta

Vakaata paksuuden mittausta vaihtelevilta mittausetäisyyksiltä

Valkoisen valon IMS5400-TH-interferometriä käytetään erittäin tarkkoihin paksuuden mittauksiin suhteellisen pitkältä etäisyydeltä. Laitteen merkittävänä etuna on etäisyydestä riippumaton mittaus, jossa nanometrin tarkat paksuusarvot saadaan mitattua jopa liikkuvista kohteista. Laaja paksuuden mittausalue mahdollistaa ohuiden kerrosten, litteän lasin ja kalvojen mittaamisen. Koska valkoisen valon interferometri käyttää lähellä infrapuna-aluetta olevaa SLED-valoa, myös heijastamattomaksi pinnoitetun lasin paksuuden mittaus onnistuu.

Paksuuden mittausalueet<br/>  Ilmavälin mittaus (taitekerron n. 1) 50 µm ... 2,1 mm<br/>  Lasin paksuusmittaus (taitekerron n. 1,5) 35 µm ... 1,4 mm
Paksuuden mittausalueet
Ilmavälin mittaus (taitekerron n. 1) 50 µm ... 2,1 mm
Lasin paksuusmittaus (taitekerron n. 1,5) 35 µm ... 1,4 mm

Ihanteellinen valinta teollisuusympäristöihin

Kestävien antureiden ja metallikoteloidun ohjauselektroniikan ansiosta järjestelmä sopii erinomaisesti tuotantolinjoille integroitavaksi. Ohjauselektroniikka voidaan asentaa sähkökaappiin DIN-kiskoasennuksella. Se tarjoaa erittäin vakaat mittaustulokset aktiivisen lämpötilan kompensoinnin ja passiivisen jäähdytyksen ansiosta. Nämä kompaktit anturit vievät erittäin vähän tilaa ja niissä on hyvin joustavat valokuitukaapelit. Jopa 10 metriä pitkät kaapelit mahdollistavat anturin ja ohjauselektroniikan sijoittamisen etäälle toisistaan. Anturin kohdistaminen on helppoa ja nopeaa integroidun ohjauslaserin ansiosta. Käyttöönotto ja parametrointi sujuu kätevästi web-liittymän kautta, eikä edellytä minkään ohjelmiston asentamista.

Modernit liittymät koneisiin ja järjestelmiin integroimista varten

Ohjauselektroniikka tarjoaa integroituja liittymiä, kuten Ethernet, EtherCAT ja RS422 sekä lisäksi enkooderiliitännät, analogilähdöt, synkronointitulot ja digitaaliset I/O:t. Näin interferometri voidaan integroida kaikkiin ohjausjärjestelmiin ja tuotanto-ohjelmiin.

Analog RS422 Ethernet Ethercat Profinet EthernetIP

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
Vantaankoskentie 14
01670 Vantaa, Finland
jouko.kuosmanen@micro-epsilon.fi
+358 40 8484 109