Valkoisen valon interferometri absoluuttiseen etäisyyden mittaukseen alle nanometrin tarkkuudella

Etäisyyden mittausta alle nanometrin tarkkuudella
interferoMETER IMS5600-DS
Etäisyyden mittausta alle nanometrin tarkkuudella
Uutuus:

Uutta valkoisen valon IMS5600-DS-interferometriä käytetään erittäin tarkoissa etäisyyden mittauksissa. Ohjauselektroniikassa on erityinen älykkäällä arvioinnilla varustettu kalibrointi ja se mahdollistaa absoluuttiset mittaukset alle nanometrin tarkkuudella. Interferometriä käytetään mittaussovelluksissa, joissa tarvitaan erittäin suurta tarkkuutta, kuten esimerkiksi elektroniikan ja puolijohteiden tuotannossa.

Ominaisuudet
  • Etäisyyden mittausta alle nanometrin tarkkuudella
  • Luokkansa paras: Alle 30 pikometrin resoluutio
  • Askelprofiilien mittaamiseen sopivaa absoluuttista mittausta
  • Kompaktit ja kestävät anturit suurella mittauksen aloitusetäisyydellä
  • Jopa 6 kHz:n mittausnopeus nopeita mittauksia varten
  • Helppo konfigurointi web-liittymän kautta
  • Alipainesovelluksiin sopivat anturit ja kaapelit

Absoluuttista etäisyyden mittausta laajalla mittausalueella ja mittauksen aloitusetäisyydellä.

IMS5600-DS-interferometriä käytetään tarkkoihin siirtymän ja etäisyyden mittauksiin. Järjestelmä tarjoaa absoluuttiset mittausarvot, joten sitä voidaan käyttää myös askelprofiilien etäisyyden mittaamiseen. Absoluuttisen mittauksen ansiosta askeleiden näytteenotto tapahtuu erittäin vakaalla signaalilla. Kun mitataan liikkuvia kohteita, voidaan reunojen, askelten ja painaumien korkeuserot näin tunnistaa luotettavasti. Mittausjärjestelmä tarjoaa alle nanometrin tarkkuuden suurella mittauksen aloitusetäisyydellä suhteessa mittausalueeseen.

Suunniteltu suuren tarkkuuden etäisyysmittauksiin alipainesovelluksissa

IMS5600-DS-interferometrejä voidaan käyttää mittaussovelluksiin alipaineympäristöissä ja puhdastiloissa, joissa niillä saavutetaan alle nanometrin mittaustarkkuus. Alipainesovelluksiin Micro-Epsilon tarjoaa erityisiä antureita, kaapeleita ja syöttölaitteita. Nämä anturit ja kaapelit ovat mahdollisimman hiukkasettomia ja niitä voidaan käyttää puhdastiloista ultravakuumitiloihin (UHV).

Vakaat ja erittäin tarkat etäisyyden mittaukset

Ohjauselektroniikka voidaan asentaa sähkökaappiin DIN-kiskoasennuksella. Se tarjoaa erittäin vakaat mittaustulokset aktiivisen lämpötilan kompensoinnin ja passiivisen jäähdytyksen ansiosta. Nämä kompaktit anturit vievät erittäin vähän tilaa ja niissä on hyvin joustavat valokuitukaapelit. Jopa 10 metriä pitkät kaapelit mahdollistavat anturin ja ohjauselektroniikan sijoittamisen etäälle toisistaan. Anturin linjaaminen on helppoa ja nopeaa integroidun ohjauslaserin ansiosta. Käyttöönotto ja parametrointi sujuu kätevästi web-liittymän kautta, eikä edellytä minkään ohjelmiston asentamista.

Useiden pintojen mittaus

Interferometrinen mittausmenetelmä mahdollistaa mittaukset lukuisilta pinnoilta. Tarkat etäisyyden mittaukset onnistuvat heijastavilta metalleilta, muoveilta ja lasilta.

Modernit liittymät koneisiin ja järjestelmiin integroimista varten

Ohjauselektroniikka tarjoaa integroituja liittymiä, kuten Ethernet, EtherCAT ja RS422 sekä lisäksi enkooderiliitännät, analogilähdöt, synkronointitulot ja digitaaliset I/O:t. Näin interferometri voidaan integroida kaikkiin ohjausjärjestelmiin ja tuotanto-ohjelmiin.

Analog RS422 Ethernet Ethercat Profinet EthernetIP

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
Vantaankoskentie 14
01670 Vantaa, Finland
jouko.kuosmanen@micro-epsilon.fi
+358 40 8484 109