Kiekkoaseman asemointi kapasitiivisten anturien avulla

Kiekkoaseman tarkkoihin asemointitehtäviin käytetään kapasitiivisia siirtymäantureita. Nämä anturit mittaavat aseman sijainnin useasta kohdasta, mikä on hyödyllistä etenkin hienosäädön kannalta. Triaxial-rakenteen ansiosta anturit eivät häiriinny sähkömagneettisista kentistä ja niiden tarkkuus on nanometriluokkaa. Lisäksi antureilla on erittäin hyvä pitkäaikainen vakaus. Kosketuksettomat anturit on suunniteltu alipainealueelle, ja niitä voidaan käyttää myös ultravakuumialueella.

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
Vantaankoskentie 14
01670 Vantaa, Finland
jouko.kuosmanen@micro-epsilon.fi
+358 40 8484 109