Kiekkoaseman asemointi kapasitiivisten anturien avulla

Kiekkoaseman tarkkoihin asemointitehtäviin käytetään kapasitiivisia siirtymäantureita. Nämä anturit mittaavat aseman sijainnin useasta kohdasta, mikä on hyödyllistä etenkin hienosäädön kannalta. Triaxial-rakenteen ansiosta anturit eivät häiriinny sähkömagneettisista kentistä ja niiden tarkkuus on nanometriluokkaa. Lisäksi antureilla on erittäin hyvä pitkäaikainen vakaus. Kosketuksettomat anturit on suunniteltu alipainealueelle, ja niitä voidaan käyttää myös ultravakuumialueella.