Erittäin tarkkaa ohuiden sähköä johtavien kalvojen paksuusmittausta
Kapasitiivinen TFG6220-järjestelmä mittaa sähköä johtavan kalvon, kuten akkukalvon, paksuuden erittäin tarkasti. Vakuumilaite imee mitattavaa kohdetta tasoittaen sen ja varmistaa näin optimaalisen rypyttömän pinnan. Näin mittaus voidaan tehdä mahdollisimman tarkasti. Järjestelmää käytetään laadunvalvontaan ottamalla satunnaisia offline-näytteitä. TFG6220 on esiasennettuna valmis käytettäväksi ja mahdollistaa toiminnan nopean aloittamisen.
Ominaisuudet
- Nopea kalvon paksuuden offline-tarkistus
- Resolution: 10 nm
- Hyvä toistettavuus: 1 µm
- Mahdollinen kalvon paksuus: < 1 mm
- Tarkat tulokset kalvon automaattisen vakuumilla tehtävän tasoituksen ansiosta
- Integroitu mittausinsertti mahdollistaa yksinkertaisen referoinnin ennen paksuuden mittausta
- Verkkoliittymä intuitiivista asetusten tekoa ja mitatun arvon näyttöä varten (ohjelmistoja ei tarvitse asentaa)
Tarkka testaus takaa laadun
TFG6220 koostuu mittaustelineestä, antureista ja capaNCDT-ohjauselektroniikasta. Paksuus lasketaan käyttämällä kahta kapasitiivista anturia. Mitattavan kohteen automaattinen tasoitus tehdään ulkoisesti kytketyllä vakuumilaitteella. Näin saadaan mikrometrin tarkat tulokset.
Mittaustelineen yläosaan pysyvästi asennettu kapasitiivinen anturi (1) mittaa etäisyyden mittauskohteeseen (2). Mittausinsertissä (3) on referenssipinta, jonka päälle mitattava kohde imetään ja kiinnitetään vakuumia käyttäen. Alemman alueen kapasitiivinen anturi (4) mittaa mittausinsertin päältä ja kompensoi kontaktipinnan mekaanisen poikkeaman.