Erittäin tarkkaa ohuiden sähköä johtavien kalvojen paksuusmittausta
Kapasitiivinen TFG6220-järjestelmä mittaa sähköä johtavien kalvojen, kuten akkukalvon, paksuuden erittäin tarkasti. Vakuumilaite imee mitattavaa kohdetta tasoittaen sen ja varmistaa näin optimaalisen rypyttömän pinnan. Näin mittaus voidaan tehdä mahdollisimman tarkasti. Järjestelmää käytetään laadunvalvontaan offline-näytteiden tarkistuksessa. TFG6220 toimitetaan esikoottuna ja se on välittömästi valmis käytettäväksi
Ominaisuudet
- Nopea kalvon paksuuden offline-tarkistus
- Resoluutio: 10 nm
- Hyvä toistettavuus: 1 µm
- Mahdollinen kalvon paksuus: < 1 mm
- Tarkat tulokset kalvon automaattisen vakuumilla tehtävän tasoituksen ansiosta
- Integroitu mittausinsertti mahdollistaa yksinkertaisen referoinnin ennen paksuuden mittausta
- Yksinkertainen käyttö/visualisointi vapaasti saatavilla olevan sensorTOOL-ohjelmiston kautta
Tarkka testaus takaa laadun
TFG6220 koostuu mittaustelineestä, antureista ja capaNCDT-ohjauselektroniikasta. Paksuus lasketaan yhdistämällä kahden kapasitiivisen anturin signaalit. Mitattavan kohteen automaattinen tasoitus tehdään ulkoisesti kytketyllä vakuumilaitteella. Näin saadaan mikrometrin tarkat tulokset.
Mittaustelineen yläosaan pysyvästi asennettu kapasitiivinen anturi (1) mittaa etäisyyden mittauskohteeseen (2). Mittausinsertissä (3) on referenssipinta, jota vasten mitattava kohde vedetään kiinni vakuumia käyttäen. Alemman alueen kapasitiivinen anturi (4) mittaa mittausinsertin päältä ja kompensoi kontaktipinnan mekaanisen poikkeaman.