Erotinkalvojen paksuuden inline-mittaus
Litiumioniakkujen tuotannossa erotinkalvot ovat tärkeässä osassa kennojen turvallisuutta ja suorituskykyä. Nämä erikoiskalvot erottavat elektrodit toisistaan ja estävät sisäiset oikosulut mahdollistaen samalla ioninvaihdon.
Kompaktia thicknessGAUGE-anturijärjestelmää käytetään erotinkalvojen pinnoitteen paksuuden mittaamiseen. Valkoisen valon interferometrilla varustettu anturijärjestelmä tunnistaa useita paksuusarvoja samanaikaisesti. Multi-peak-toiminnon ansiosta sekä kalvon paksuus että pinnoite, joka on vain 10 µm paksu, mitataan luotettavasti.
