Tarkka valkoisen valon inteferometri etäisyyden ja paksuuden mittaukseen nanometritarkkuudella

19.01.2021

Micro-Epsilonin valkoisen valon interferometrit soveltuvat teolliseen käyttöön, ja niillä saavutetaan stabiileja mittaustuloksia. Micro-Epsilonin interferoMETER-järjestelmään kuuluu ohjauselektroniikka, anturi ja kaapeli. Ne on suunniteltu teollisuuden mittaustehtäviin, ja niissä on tukeva metallikotelo ja joustavat kaapelit.
Useat analogiset ja digitaaliset käyttöliittymät kuten Ethernet ja EtherCAT mahdollistavat helpon liitännän. Alkuvaiheen ja parametrien asetusten konfiguroinnit tehdään käyttäjäystävällisen web-liittymän kautta.
Suuritarkkuuksista IMS5400-TH:ta käytetään ohuiden läpinäkyvien materiaalien paksuuden mittaamiseen. Anturi tunnistaa mittausarvot riippumatta etäisyydestä mitattavaan kohteeseen tai siitä, värähteleekö tai liikkuuko mitattava kohde. Lähellä infrapuna-aluetta olevalla valonlähteellä voidaan mitata myös heijastamattomalla pinnoitteella pinnoitetun lasin paksuus.
IMS5400-DS-järjestelmällä voidaan suorittaa teollisia etäisyysmittauksia käyttäen absoluuttisia arvoja, ja myös porrastukset ja reunat voidaan tunnistaa luotettavasti ilman signaalin heikentymistä.
IMS5600-DS on suunniteltu etäisyysmittauksiin puhdastiloissa ja alipaineympäristöissä (ultravakuumiin saakka). Ohjaimen erikoiskalibroinnilla saavutetaan alle nanometrin resoluutio ja < ±10 nm:n lineaarisuus, mitä vaaditaan esimerkiksi anturia kohdistettaessa tai vaihetta aseteltaessa.

Hyödyt

• Tarkkuutta alle nanometrin alueella
• Tukeva ja teolliseen käyttöön optimoitu muotoilu
• Absoluuttinen etäisyyden mittaus
• Etäisyydestä riippumaton paksuuden mittaus
• Korkea signaalin vakaus
• Alipainesovelluksiin sopivat anturit ja kaapelit