”Hybridiliitos” on kehittynyt puolijohdeteollisuudessa käytetty liitostekniikka, jossa kaksi kiekkoa tai sirua kiinnitetään suoraan toisiinsa kuparisten kontaktipintojen kautta. Näin perinteisiä juotosnystyjä ei enää tarvita. Modernissa ”siru kiekkoon” -hybridiliitoksissa (D2W) tai ”kiekko kiekkoon” -hybridiliitoksissa (W2W) reaaliaikainen tasaisuuden mittaus on ratkaiseva tekijä, jotta prosessi olisi luotettava.

Kapasitiiviset etäisyysanturit ovat tässä keskeisessä roolissa, erityisesti kun käytetään pieniä mikrometrin kokoluokan siruja. Näiden antureiden avulla voidaan mitata kosketuksettomasti kiekkojen muodon poikkeamat, jotka johtuvat esimerkiksi taipumisesta, kiertymisestä tai paikallisesta muodon muutoksesta. Anturit valvovat kiekkojen tasaisuutta ja tarjoavat olennaiset mittaustiedot liitosyksiköiden adaptiiviselle tasaukselle.

Tasaisuuden inline-valvonta ennen liitoksen tekemistä

Mittaustehtävästä riippuen anturijärjestelmä skannaa kiekon ylä- ja alaosan ja tunnistaa paikalliset kohoumat, painaumat, kallistumat tai taipumat. Mittaustiedot siirretään kiekkoasemien aktiiviseen asennon korjaukseen. Jos korkeuseroja havaitaan, liitosyksikkö voidaan linjata tarkasti z-akselin suunnassa esimerkiksi tarkkuusakselia käyttäen. Erittäin pienten sirujen kohdalla käytetään myös istukan segmentoituja alueita, jotka voidaan tasoittaa paikallisesti.

Kapasitiiviset anturit tuottavat erittäin tarkkoja mittaustietoja jatkuvasti, joten liitosjärjestelmiä voidaan ohjata toimilaitteilla (esim. pietsotoimilaitteilla tai segmentoiduilla liitosistukoilla) reaaliaikaisesti.

Vakuumisovelluksiin yhteensopivan rakenteensa ansiosta näitä antureita voidaan käyttää lähes kaikenlaisissa kohteissa.