UUSI: confocalDT IFS2407-0,1 kun vaaditaan todellista tarkkuutta

06.02.2019

IFS2407-0,1 on innovatiiviseen teknologiaan perustuva kompakti konfokaalianturi, joka avaa uusia sovellusalueita siirtymä- ja paksuusmittauksiin. Anturilla on jopa 100 µm:n mittausalue. Anturin ansiot paljastuvat kuitenkin vasta sen yksityiskohdissa. Pieni mittausalue yhdistettynä suureen 3 nm:n resoluutioon mahdollistaa erittäin tarkat, luotettavat mittaukset läpinäkyvistä kerroksista, kuten lasista tai muovikalvoista, joiden paksuus on vain 5 µm.
Toinen innovatiivinen ominaisuus on suuri kallistuskulma, josta anturi selviytyy. Se onnistuu anturimallista riippuen, NA 0,8:n tai NA 0,7:n numeerisella aukolla, mikä tarkoittaa tähän optiseen järjestelmään yhdistettyjen valonsäteiden astetta. Yhdistettynä halkaisijaltaan vain 3 µm:n valopisteeseen, anturi havaitsee pienimpiä rakenteita ja sitä voidaan käyttää pinnan karheuden mittaamiseen. Nämä anturit tarkastavat esimerkiksi sileäksi hiottuja pintoja, kuten jarrulevyjä, joiden rakenne havaitaan tasaisesti kiillotetuksi pinnaksi.
Uusi confocalDT IFS2407-0,1 on saatavana huhtikuusta 2019 alkaen kahteena eri versiona. Vakiomalli, jonka NA on 0,8, on ihanteellinen karheiden pintojen ja ohuiden kerrosten tarkkoja mittauksia varten. Toinen vaihtoehto on valointensiivinen malli, jonka NA on 0,7, suurten nopeuksien mittaamiseen lyhyellä valotusajalla ja tummilta pinnoillta.

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
Vantaankoskentie 14
01670 Vantaa, Finland
jouko.kuosmanen@micro-epsilon.fi
+358 40 8484 109