Multi-peak interferometri mahdollistaa erittäin tarkat monikerroksiset mittaukset
23.08.2022
Micro-Epsilon-valkoisen valon interferometrit tunnetaan erityisesti niiden erinomaisesta tarkkuudesta ja absoluuttisista mittausarvoista. Teollisuuskäyttöön suunnitellut laitteet soveltuvat inline-käyttöön kone-integraatioon sekä laboratoriosovelluksiin. Valkoisen valon interferometrit mittaavat sekä etäisyyttä että paksuutta ja saavuttavat nanometriluokan tarkkuuden ja pikometriluokan erottelukyvyn.
Uusilla multi-peak versioilla useiden läpinäkyvien kerrosten tarkka tunnistus vain yhdessä mittausprosessissa on nyt myös mahdollista. Saatavana on kaksi eri ohjainmallia multi-peak etäisyyden mittaamiseen (IMS5x00-DS/MP) tai monen kerroksen paksuuden mittaukseen (IMS5400-TH/MP). Näiden kahden eri mallin välinen ero on se, että etäisyysmittausjärjestelmällä kerroksen paksuudet lasketaan vastaavista etäisyysarvoista, kun taas paksuusjärjestelmällä mitataan suoraan. Sovelluksesta riippuen tämä tarjoaa sinulle erilaisia etuja:
Multi-peak mittausjärjestelmiä käytetään erityisesti kohdistus- ja paikannustehtäviin, joissa etäisyys ja paksuus on määritettävä samanaikaisesti. Laajalla 2,1 mm:n mittausalueella voidaan havaita jopa 13 eri kerrosta, joiden vähimmäispaksuus on enintään 10 μm (BK7). Mitä tarkkuuteen tulee, mittaus tehdään suurelta noin 19 mm: n etäisyydeltä. Absoluuttisen mittaustavan ansiosta järjestelmää ei tarvitse viitearvokalibroida edes signaalin keskeytymisen jälkeen esimerkiksi nousujen tai reunojen tapauksessa.
Monen kerroksen paksuuden mittausjärjestelmiä käytetään aina, kun vaaditaan jopa 5 eri kerroksen etäisyysriippumattomia paksuusarvoja. Paksuuden mittausalueella 2,1 mm mitataan luotettavasti yksittäisiä kerroksia, jotka ovat paksuudeltaan vähintään 35 μm (BK7). Suuri toiminta-alue kompensoi mittauskohteen etäisyyden vaihtelut siten, että värähtelyt tai muut materiaalin liikkeet eivät vaikuta mittaustulokseen. Toinen paksuusmittausjärjestelmien etu on niiden suuri siirtymäetäisyys: mittausarvot otetaan jopa 70 mm:n etäisyydeltä kohteesta, mikä tekee prosessista luotettavan ja suojaa anturia vaurioitumiselta.
Kaikille järjestelmille on saatavana nykyaikainen ja intuitiivinen verkkokäyttöliittymä, joka helpottaa järjestelmän kokoonpanon määritystä. Lisäksi monipuoliset liitännät (EtherCAT, Ethernet, PROFINET, EtherNet / IP, RS422, analoginen) tarjoavat lukuisia integrointivaihtoehtoja. Interferometrianturit on suojattu IP65:n mukaisella korkealla suojausluokalla teolliseen käyttöön. Lisävarusteena on saatavana myös alipaineyhteensopivia järjestelmiä.
Valkoisen valon interferometrin edut
- Luokkansa paras erottelukyky <30 pm
- Lineaarisuus jopan ±10 nm nanometriluokan tarkkuudella
- Etäisyydestä riippumattomat paksuusmittaukset
- Jopa 13 eri kerrosta, joiden mitattavissa oleva vähimmäispaksuus on jopa niin pieni kuin 10 μm
- Luotettava järjestelmä prosessin kannalta vakaisiin mittaustuloksiin
- Suuri etäisyys mittauskohteeseen 2,1 mm:n mittausalueella
- Ohjainlaser visualisoi mittauspisteen ja antaa optista palautetta mittauspaikasta
