Multi-peak interferometri mahdollistaa erittäin tarkat monikerroksiset mittaukset

19.05.2022

Micro-Epsilon-valkoisen valon interferometrit tunnetaan erityisesti niiden erinomaisesta tarkkuudesta ja absoluuttisista mittausarvoista. Teollisuuskäyttöön suunnitellut laitteet soveltuvat inline-käyttöön kone-integraatioon sekä laboratoriosovelluksiin. Valkoisen valon interferometrit mittaavat sekä etäisyyttä että paksuutta ja saavuttavat nanometriluokan tarkkuuden ja pikometriluokan erottelukyvyn.

Uusilla multi-peak versioilla useiden läpinäkyvien kerrosten tarkka tunnistus vain yhdessä mittausprosessissa on nyt myös mahdollista. Saatavana on kaksi eri ohjainmallia multi-peak etäisyyden mittaamiseen (IMS5x00-DS/MP) tai monen kerroksen paksuuden mittaukseen (IMS5400-TH/MP). Näiden kahden eri mallin välinen ero on se, että etäisyysmittausjärjestelmällä kerroksen paksuudet lasketaan vastaavista etäisyysarvoista, kun taas paksuusjärjestelmällä mitataan suoraan. Sovelluksesta riippuen tämä tarjoaa sinulle erilaisia etuja:

Multi-peak mittausjärjestelmiä käytetään erityisesti kohdistus- ja paikannustehtäviin, joissa etäisyys ja paksuus on määritettävä samanaikaisesti. Laajalla 2,1 mm:n mittausalueella voidaan havaita jopa 13 eri kerrosta, joiden vähimmäispaksuus on enintään 10 μm (BK7). Mitä tarkkuuteen tulee, mittaus tehdään suurelta noin 19 mm: n etäisyydeltä. Absoluuttisen mittaustavan ansiosta järjestelmää ei tarvitse viitearvokalibroida edes signaalin keskeytymisen jälkeen esimerkiksi nousujen tai reunojen tapauksessa.

Monen kerroksen paksuuden mittausjärjestelmiä käytetään aina, kun vaaditaan jopa 5 eri kerroksen etäisyysriippumattomia paksuusarvoja. Paksuuden mittausalueella 2,1 mm mitataan luotettavasti yksittäisiä kerroksia, jotka ovat paksuudeltaan vähintään 35 μm (BK7). Suuri toiminta-alue kompensoi mittauskohteen etäisyyden vaihtelut siten, että värähtelyt tai muut materiaalin liikkeet eivät vaikuta mittaustulokseen. Toinen paksuusmittausjärjestelmien etu on niiden suuri siirtymäetäisyys: mittausarvot otetaan jopa 70 mm:n etäisyydeltä kohteesta, mikä tekee prosessista luotettavan ja suojaa anturia vaurioitumiselta.
Kaikille järjestelmille on saatavana nykyaikainen ja intuitiivinen verkkokäyttöliittymä, joka helpottaa järjestelmän kokoonpanon määritystä. Lisäksi monipuoliset liitännät (EtherCAT, Ethernet, PROFINET, EtherNet / IP, RS422, analoginen) tarjoavat lukuisia integrointivaihtoehtoja. Interferometrianturit on suojattu IP65:n mukaisella korkealla suojausluokalla teolliseen käyttöön. Lisävarusteena on saatavana myös alipaineyhteensopivia järjestelmiä.

Valkoisen valon interferometrin edut

  • Luokkansa paras erottelukyky <30 pm
  • Lineaarisuus jopan ±10 nm nanometriluokan tarkkuudella
  • Etäisyydestä riippumattomat paksuusmittaukset
  • Jopa 13 eri kerrosta, joiden mitattavissa oleva vähimmäispaksuus on jopa niin pieni kuin 10 μm
  • Luotettava järjestelmä prosessin kannalta vakaisiin mittaustuloksiin
  • Suuri etäisyys mittauskohteeseen 2,1 mm:n mittausalueella
  • Ohjainlaser visualisoi mittauspisteen ja antaa optista palautetta mittauspaikasta

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
Vantaankoskentie 14
01670 Vantaa, Finland
jouko.kuosmanen@micro-epsilon.fi
+358 40 8484 109