Siirry suoraan päänavigointiin Suora pääsy sisältöön Siirry alanavigointi-tilaan

Absoluuttinen interferometri: Uudet tyhjiöanturit 90° kulmalla olevalla säteellä

interferoMETER-IMS5400-DS-10-90-VAC_IMS5600-DS-10-90-VAC__900x370px.jpg

InterferoMETER 5400-DS ja 5600-DS absoluuttisia interferometrejä käytetään etäisyysmittaukseen nanometrin tarkkuudella. Tuoteryhmää on nyt laajennettu uusilla antureilla, joilla on suuri 10 mm offset-etäisyys. Nämä on suunniteltu erittäin tarkkoihin sovelluksiin puhdastilaympäristöissä ja tyhjiössä, esimerkiksi pinnoitettujen kiekkojen mittauksiin. Ei-magneettinen titaaninen UHV-versio mahdollistaa käytön myös voimakkaissa magneettikentissä, esimerkiksi MRI-skannaus- tai elektronimikroskoopeissa.

Rakenne, jossa on 90° kulma säteelle, vähentää merkittävästi tarvittavaa asennussyvyyttä. Lineaarisuudet < ±50 nm tai < ±10 nm ovat mahdollisia riippuen ohjauselektroniikan valinnasta. Innovatiivisissa absoluuttisissa interferometreissä on laajat liitäntämahdollisuudet optimaalista integrointia varten erilaisiin ohjausjärjestelmiin ja tuotantoohjelmiin. Niissä on digitaalisia liitäntöjä, kuten Ethernet, EtherCAT, RS422, PROFINET ja EtherNet/IP, sekä analoginen lähtö. Koko ohjauselektroniikan ja sen antureiden konfigurointi suoritetaan tavalliseen tapaan web-käyttöliittymän kautta ilman lisäohjelmistoja.