3D-anturi halkaisijaltaan enintään 300 mm:n kiekkojen koko pinnan warpage- ja tasomaisuusmittaukseen
reflectCONTROL RCS3500-300 -anturit mahdollistavat halkaisijaltaan enintään 300 mm:n kiekkojen nopean 3D-mittauksen. Kiekon koko pinta tallennetaan yhdellä otoksella ja tarkastetaan tarkasti warpage-, bow- ja paikallisten muodonmuutosten varalta. Poikkeamat voidaan siten havaita varhaisessa vaiheessa ennen kuin ne vaikuttavat seuraaviin prosessivaiheisiin. Lyhyt mittausaika mahdollistaa tehokkaan laadunvalvonnan tasaisen suurella tuotantokapasiteetilla – parempi prosessivarmuus, vähemmän hylkyä ja pienemmät jälkikustannukset.
Ominaisuudet
- Koko kiekon tallennus, enintään 300 mm, yhdellä otoksella
- Ei osamittausten yhdistelystä aiheutuvia virheitä
- Optimoitu voimakkaasti heijastaville kiekkopinnoille
- Lyhyt, alkaen 1 s:n tallennusaika warpage- ja tasomaisuustarkastuksiin
- Tehokas laadunvalvonta tasaisen suurella tuotantokapasiteetilla
- Törmäysten ehkäisy seuraavien prosessivaiheiden suojaamiseksi
- Soveltuu inline-tarkastusprosesseihin
Koko pinnan 3D-deflektometria suurille kiekkopinnoille
Anturin mittausalueen halkaisija on 300 mm ja työskentelyetäisyys 370 mm, joten halkaisijaltaan enintään 300 mm:n kiekot voidaan mitata koko pinnalta yhdellä otoksella. Tuloksena on yhtenäinen 3D-tietoaineisto ilman mekaanista skannausta ja useiden osamittausten yhdistelyä.
Lyhyet mittausajat nopeisiin prosesseihin
reflectCONTROL RCS3500-300 3D wafer warpage -anturit tallentavat tarkat 3D-tiedot erittäin lyhyessä ajassa. Lyhyt, alkaen 1 s:n tallennusaika vähentää kiekon viipymäaikaa ja tukee siten nopeita tarkastusjaksoja automatisoiduissa prosesseissa.
Nopean käsittelyn ansiosta lasketut mittausarvot, ominaisuudet tai OK/NOK-arvioinnit ovat nopeasti käytettävissä. Laatupäätökset voidaan siten palauttaa suoraan tuotantoprosessiin – ihanteellinen ratkaisu inline-tarkastuksiin, lyhyisiin sykliaikoihin ja robottisovelluksiin. Warpage, bow, tasomaisuus ja paikalliset taipumat arvioidaan nopeasti ja luotettavasti.
Tehokas IPU ja 3DInspect-ohjelmisto
Industrial Performance Unit (IPU) -yksikön kanssa käytettävissä ovat PROFINET-, EtherCAT- ja EtherNet/IP-rajapinnat helppoa integrointia varten teollisiin ohjausympäristöihin. Valmiit laitekuvaustiedostot ja Micro-Epsilonin sekvenssiohjausmalli varmistavat nopean ja toimintavarman käyttöönoton. 3D-mittaus- ja tarkastustehtäviin tarkoitettu 3DInspect-ohjelmisto on valmiiksi integroituna IPU-yksikköön.
Käyttökohteet
