Voimakkaasti heijastavien pintojen erittäin tarkka tarkastus ja mittaus
reflectCONTROL-anturit tallentavat ja tarkastavat voimakkaasti heijastavia ja osittain läpinäkyviä pintoja erittäin tarkasti. Anturimallista riippuen ne mahdollistavat korkean resoluution 2D-tarkastukset virheentunnistukseen tai koko pinnan 3D-mittaukset tarkkaan muodon ja geometrian tarkastukseen. Vaihetta mittaava deflektometria tekee pienimmätkin virheet ja muotopoikkeamat luotettavasti näkyviksi.
Käyttökohteet ulottuvat teollisesta pinnantarkastuksesta halkaisijaltaan enintään 300 mm:n kiekkojen automatisoituun mittaukseen. Vaativat tarkastustehtävät voidaan näin integroida tuotantoprosessiin tehokkaasti, toistettavasti ja kosketuksettomasti.
Tarkka 2D- ja 3D-pinnantarkastus vaativiin teollisiin mittaus- ja tarkastustehtäviin.
Ominaisuudet
- Kosketukseton 2D- ja 3D-tarkastus voimakkaasti heijastaville pinnoille
- Korkean resoluution virheentunnistus ja tarkka muodonmittaus
- Osien ja halkaisijaltaan enintään 300 mm:n kiekkojen koko pinnan 3D-tallennus
- Lyhyet mittausajat tehokkaaseen laadunvalvontaan
- Suuri mittaustarkkuus vaativiin pinnantarkastuksiin
- Joustava integrointi automatisoituihin tarkastus- ja tuotantoprosesseihin
- Tehokas 3DInspect-ohjelmisto
Kosketukseton 2D- ja 3D-mittaus deflektometrialla
Mittauskohde valaistaan kosketuksettomasti määritellyillä raitakuvioilla. Voimakkaasti heijastava pinta heijastaa nämä kuviot kahteen kameraan, jotka havaitsevat raitojen pienimmätkin muutokset ja muodonmuutokset.
Tallennetuista kuvasarjoista anturi muodostaa korkean resoluution 2D-vaihekuvia. Niiden avulla pintavirheet voidaan havaita ja arvioida luotettavasti. 3D-mittaukseen soveltuvissa reflectCONTROL-malleissa vaihetietoja käytetään lisäksi kolmiulotteisen pistepilven eli pinnan topografian laskemiseen.
Anturimallista riippuen mittaustietoja voidaan jatkokäsitellä automaattista virheentunnistusta, pinnantarkastusta ja 3D-muodonmittausta varten.
Uutuus: reflectCONTROL RCS3500-300 3D-Wafer-Warpage
Anturi kiekkojen 3D-warpage- ja tasomaisuusmittaukseen 300 mm:n mittausalueella
Koko kiekko tallennetaan yhdellä otoksella – ilman yhdistelyvirheitä ja optimoituna heijastaville kiekkopinnoille. Nopea ja tarkka 3D-warpage- ja tasomaisuusmittaus, luotettava törmäysten ehkäisy seuraavassa prosessivaiheessa sekä käyttö nearline- ja inline-tarkastusprosesseissa.
Tarkka pinnantarkastus deflektometria-antureilla
Micro-Epsilonin deflektometria-antureita käytetään kiiltävien ja heijastavien pintojen erittäin tarkkaan tarkastukseen. Ne havaitsevat kosketuksettomasti ja korkealla resoluutiolla pienimmätkin muotopoikkeamat, aaltoilun ja paikalliset pintavirheet. Tyypillisiä käyttökohteita ovat muun muassa puolijohdeteollisuus, optiset komponentit, lasipinnat, näytöt sekä maalatut tai kiillotetut osat.
Anturit soveltuvat sekä yksittäisten komponenttien laadunvalvontaan että automatisoituun inline-tarkastukseen tuotannossa. Näin virheet voidaan havaita varhaisessa vaiheessa, hylkyä ja jälkityöstöä vähentää ja tuotteiden tasaisen korkea laatu varmistaa.
3DInspect – tehokas ohjelmisto parametrien asetukseen ja arviointiin
Intuitiivinen käyttöliittymä
Helppo parametrien asetus ja 3D-mittausohjelmien vaivaton luonti mahdollistavat mittausjaksojen nopean ja tehokkaan määrittämisen.
Inline-käyttö
Integroitu automaatiorajapinta tallentaa mittausohjelmat ja mahdollistaa automatisoidut mittaukset ilman lisäohjausyksiköitä.
Kirjautuminen ja tallennus
3D-tiedot suoraan ohjelmistossa
Yksi ohjelmisto kaikille Micro-Epsilonin 3D-antureille
Parametrien asetus
- Optimaalisten anturiparametrien asettaminen kuhunkin mittaustehtävään
- Parametrisarjojen lataaminen
- Mitattavan alueen valinta
Tietojen esikäsittely
- Pistepilven kohdistaminen ennen arviointia, esim. pistepilven toistettavaa asemointia varten.
- Suodattimien hienosäätö tai käyttö ominaisuuksien korostamiseen, epäolennaisten pisteiden poistamiseen tai leikkausten luomiseen.
Arviointi
- Yli 80 mittausohjelmaa tarvittavien mittausarvojen laskemiseen
- Aiemmin luotujen leikkausten arviointi ja mittaus
- Useiden ohjelmien yhdistäminen monimutkaisia mittaustehtäviä varten
Mittaustulosten lähtö
- Mittausarvon suora arviointi tulokseksi (OK/NOK-arvo). Mittausarvojen tai arvioitujen tulosten automaattinen lähtö (edellyttää Automation-lisenssiä)
- Kytkentäsignaalit ja kenttäväylälähtö
