Konfokaalinen linja-anturi erittäin tarkkoihin ja nopeisiin 3D-skannauksiin
Uudet confocalLINE-anturit mahdollistavat erittäin tarkat skannaukset suurella pistetiheydellä ja nopeudella. Ne mittaavat luotettavasti monenlaisia pintoja ja tuottavat tarkkaa 3D-dataa puolijohdetuotannon, elektroniikkavalmistuksen ja tarkkuustekniikan vaativiin mittaustehtäviin. Integroidun SMART-arvioinnin ja nykyaikaisten kenttäväyläliitäntöjen ansiosta monimutkaiset mittaus- ja tarkastustehtävät voidaan ratkaista suoraan anturissa – nopeasti, vakaasti ja erittäin tarkasti.
Ominaisuudet
- Erittäin tarkat skannaukset, 2 624 pistettä/profiili
- Erittäin hyvä signaalin vakaus monilla pinnoilla
- Mikrometriluokan tarkkuus hienoimpien yksityiskohtien luotettavaan tunnistamiseen
- Kompakti anturirakenne integroidulla tietojenkäsittelyllä
- 2D-profiilimittaus ja 3D-geometriamittaus
- Mittaustietojen suora lähetys kenttäväylän ja Modbusin (UDP/TCP) kautta
Suuri mittausalue ja maksimaalinen pistetiheys
Konfokaaliset kromaattiset linjaskannerit tallentavat X-akselin suuntaisia profiileja 7 mm:n linjapituudella. Jokaisen profiilin 2 624 mittauspisteen avulla ne tuottavat korkean resoluution 2D-profiilitietoa ja tarkkoja 3D-pistepilviä luotettavasti ja suurelta osin pinnan ominaisuuksista riippumatta. Linjapohjainen mittaus mahdollistaa kokonaiskuvausten tuottamisen huomattavasti nopeammin kuin perinteisillä pisteantureilla.
Maksimaalinen tarkkuus pienimpiin yksityiskohtiin asti
2,7 µm:n lateraalisella resoluutiolla ja 200 nm:n Z-akselin resoluutiolla confocalLINE tunnistaa hienoimmat rakenteet ja korkeuserot erittäin tarkasti. Korkean tarkkuutensa ansiosta myös pienimmät mittauskohteet voidaan tunnistaa ja arvioida luotettavasti – ihanteellinen vaativimpiin tarkkuusmittauksiin.
Luokkansa pienin skanneri: kompakti rakenne integroidulla SMART-arvioinnilla
Kompaktin rakenteensa ansiosta confocalLINE CLI8500 asettaa uudet standardit. Koska anturi ei tarvitse ulkoista ohjauselektroniikkaa eikä teollisuus-PC:tä, se voidaan integroida helposti myös ahtaisiin asennustiloihin ilman ohjauskaappia. SMART-versiossa mittausohjelmat suoritetaan suoraan anturissa ja mittaustulokset välitetään PLC:lle.
Innovatiivista tekniikkaa erittäin tarkkoihin mittauksiin
confocalLINE-anturit käyttävät konfokaalista kromaattista mittausperiaatetta, jossa valkoinen valo hajotetaan erikoisoptiikalla spektriväreiksi ja projisoidaan viivana mittauskohteeseen. Spektrin jokainen aallonpituus vastaa määritettyä etäisyyttä. Heijastuneen valon perusteella anturi määrittää etäisyyden pintaan jokaisessa mittauspisteessä. Linjan 2 624 mittauspistettä muodostavat korkean resoluution korkeusprofiilin. Peräkkäisiä profiileja yhdistämällä muodostetaan 3D-pistepilviä. Näin pinnan topografiat, reunat, portaat ja raot voidaan tunnistaa erittäin tarkasti ja nopeasti sekä arvioida suoraan anturissa. Läpinäkyvissä ja puoliläpinäkyvissä materiaaleissa voidaan lisäksi tunnistaa useita rajapintoja ja käyttää niitä esimerkiksi materiaalipaksuuksien määrittämiseen.
Tehokas ohjelmisto konfigurointiin ja sovellusratkaisuihin
3DInspect-ohjelmisto mahdollistaa parametrien helpon määrittämisen sekä 2D- ja 3D-mittausohjelmien vaivattoman luomisen. Intuitiivisen käyttöliittymän avulla mittaussekvenssit voidaan konfiguroida nopeasti ja helposti. Integroidun automaatioliitännän kautta luodut mittausohjelmat tallennetaan suoraan skanneriin SMART-käyttöä varten. Näin automatisoidut mittaukset voidaan toteuttaa ilman erillisiä ohjausyksiköitä.
Anturin helppo konfigurointi
- Pistepilven kohdistus ja suodatus
- Merkityksellisten alueiden intuitiivinen tunnistus ja valinta
- Valid3D: aidot 3D-pistepilvet 2,5D-arvioinnin sijaan
Tehokkaat ohjelmat autonomiseen SMART-käyttöön
- Yli 80 mittausohjelmaa haluttujen mittausarvojen laskemiseen
- Useiden ohjelmien yhdistäminen monimutkaisiin mittaustehtäviin
- Mittausohjelmien siirto skanneriin autonomista SMART-käyttöä varten
Lukuisat liitännät helppoon integrointiin
Sovellukset
