Konfokaaliset anturit tarkkaan etäisyyden, pinnan karheuden ja paksuuden mittaukseen
Konfokaaliset IFS2407 anturit on suunniteltu tarkkoihin etäisyyden, pinnankarheuden ja paksuuden mittauksiin. Nämä konfokaaliset kromaattiset anturit tarjoavat laajan numeerisen aukon, halkaisijaltaan pienen valopisteen ja sallivat myös asennuksessa suuren mittauskulman, joten anturi sopii myös pinnankarheuden mittauksiin. Anturilla saavutetaan vakuuttava nanometrin tarkkuus.
Korkean lämpötilan anturit: confocalDT IFS2407-xHT
- Luotettavaa mittausta ympäristön lämpötilan ollessa jopa 200 °C
- Mittausalueet (mm): 0,8 | 2 | 4
- Lämpötila-alue: enint. 200 °C
- Lineaarisuus: enint. < ±0,18 µm
- Resoluutio: enint. < 6 nm
- Ruostumaton teräskotelo 1.4404
- Sopii alipainesovelluksiin aina ultravakuumiin asti
- 90° versiot
confocalDT IFS2407-0,1
- Mittausalue (mm): 0,1
- Lineaarisuus: enint. 0,05 µm
- Resoluutio: enint. 3 nm
- Ihanteellinen etäisyys- ja karheusmittauksiin
- Valointensiivinen anturiversio saatavana nopeisiin prosesseihin (NA 0,7)
- Pieni mittauspisteen koko: 3 µm
- Suuri herkkyys ja laaja mittauskulma
- Läpinäkyvien esineiden paksuusmittaus alk. 5 µm
confocalDT IFS2407-0,8
- Mittausalue (mm): 0,8
- Lineaarisuus: enint. 0,2 µm
- Resoluutio: enint. 24 nm
- Pieni valopiste
- Tilaa säästävä anturin rakenne
- Tarkka etäisyyden mittaus, myös kaarevilta pinnoilta
- Sopii erityisen hyvin ohuiden kerrosten paksuuden mittaukseen
confocalDT IFS2407-1,5
- Mittausalue (mm) 1,5
- Erittäin pieni 5,5 µm:n mittauspiste
- Mittauskulma ± 43°
- Valointensiivinen malli (NA > 0,7)
- Tarkkaa mittausta kaarevilta ja heijastavilta pinnoilta
- Vakaat mittaukset kuvioiduilta pinnoilta
confocalDT IFS2407-3
- Mittausalue (mm): 3
- Lineaarisuus: enint. 0,5 µm
- Resoluutio: enint. 13 nm
- Suuri siirtymäetäisyys, n. 28 mm
- Suurin mittauskulma ± 30°
- Erinomainen valinta kaarevien ja heijastavien pintojen mittaamiseen
confocalDT IFS2407-6
- Mittausalue (mm): 6
- Lineaarisuus: enint. 1 µm
- Resoluutio: enint. 15 nm
- Pitkä mittauksen aloitusetäisyys, n. 32 mm
- Sopii erinomaisesti nopeisiin ja tarkkoihin mittauksiin haastavilta pinnoilta
- Korkea valointensiteetti jopa tummilla / heikosti heijastavilla pinnoilla
confocalDT IFS2407/90-0,3
- Mittausalue (mm): 0,3
- Lineaarisuus: enint. 0,15 µm
- Resoluutio: enint. 6 nm
- Sopii erinomaisesti siirtymien ja pinnan karheuden mittaukseen
- Pieni 6 µm:n mittauspiste
- Suuri herkkyys ja laaja mittauskulma
- 90° kulma, erinomainen valinta ahtaisiin asennustiloihin
