interferoMETER: Tehokkaat anturit erikoisvaatimuksiin

15.08.2023

interferoMETER-sarjassa Micro-Epsilon tarjoaa innovatiivisia valkoisen valon interferometrejä hyvin tarkkoihin teollisuuden etäisyys- ja paksuusmittauksiin. Laserinterferometreihin verrattuna absoluuttisia etäisyysmittauksia voidaan suorittaa myös signaalihyppyjen aikana. Niillä saavutetaan pikometritason resoluutio. Saatavana on kolme uutta anturia erittäin tarkkoihin mittauksiin erikoisympäristöissä.

interferoMETER IMP-DS0.5/90/VAC90°

Etäisyysanturi ahtaisiin asennustiloihin
Mittausalue 1,5 mm
Lineaarisuus ±10 nm (ohjauselektroniikasta riippuen)
Kulma 90°
Suunniteltu käytettäväksi vakuumissa ultravakuumiin saakka

interferoMETER IMP-DS19/VAC(001)

Anturissa korkea lämpötilavakaus
Mittausalue 2,1 mm
Lineaarisuus ±10 nm (ohjauselektroniikasta riippuen)
Invarin valmistama anturimateriaali
Suunniteltu käytettäväksi vakuumissa ultravakuumiin saakka

interferoMETER IMP-DS1/VAC

Pieni etäisyysanturi ø 4 mm
Mittausalue 1,1 mm
Lineaarisuus ±10 nm (ohjauselektroniikasta riippuen)
Integroitu kaapeli helppoon asennukseen
Suunniteltu käytettäväksi vakuumissa ultravakuumiin saakka