interferoMETER: Tehokkaat anturit erikoisvaatimuksiin

interferoMETER-sarjassa Micro-Epsilon tarjoaa innovatiivisia valkoisen valon interferometrejä hyvin tarkkoihin teollisuuden etäisyys- ja paksuusmittauksiin. Laserinterferometreihin verrattuna absoluuttisia etäisyysmittauksia voidaan suorittaa myös signaalihyppyjen aikana. Niillä saavutetaan pikometritason resoluutio. Saatavana on kolme uutta anturia erittäin tarkkoihin mittauksiin erikoisympäristöissä.

interferoMETER IMP-DS0.5/90/VAC90°

90 Grad Sensor für kleine Bauräume
  • Etäisyysanturi ahtaisiin asennustiloihin
  • Mittausalue 1,5 mm
  • Lineaarisuus ±10 nm (ohjauselektroniikasta riippuen)
  • Kulma 90°
  • Suunniteltu käytettäväksi vakuumissa ultravakuumiin saakka

interferoMETER IMP-DS19/VAC(001)

interferoMETER Sensor mit höchster Temperaturstabilität
  • Anturissa korkea lämpötilavakaus
  • Mittausalue 2,1 mm
  • Lineaarisuus ±10 nm (ohjauselektroniikasta riippuen)
  • Invarin valmistama anturimateriaali
  • Suunniteltu käytettäväksi vakuumissa ultravakuumiin saakka

interferoMETER IMP-DS1/VAC

Miniaturabstandssensor mit 4 mm Durchmesser
  • Pieni etäisyysanturi ø 4 mm
  • Mittausalue 1,1 mm
  • Lineaarisuus ±10 nm (ohjauselektroniikasta riippuen)
  • Integroitu kaapeli helppoon asennukseen
  • Suunniteltu käytettäväksi vakuumissa ultravakuumiin saakka
Interferometri (valkoinen valo)