Puolijohdeteollisuudessa, optiikassa tai ilmailussa tyhjiössä tehtävät mittaukset ovat osa arkea, mutta ne asettavat myös korkeimmat vaatimukset anturiteknologialle. Micro-Epsilon tarjoaa sekä katalogi-antureita että erityisesti kehitettyjä antureita, jotka toimivat luotettavasti ja erittäin tarkasti äärimmäisissä olosuhteissa. Mukautettujen materiaalien ja optimoidun rakenteensa ansiosta ne toimivat joko suoraan tyhjiössä tai mittaavat ulkopuolelta tyhjiöikkunoiden kautta.
Sovelluksesta riippuen käytetään optisia, induktiivisia, kapasitiivisia tai interferometrisiä antureita. optoNCDT-sarjan laseranturit sopivat ihanteellisesti etäisyysmittauksiin prosesseissa, kuten laserhitsauksessa tai additiivisessa valmistuksessa. ConfocalDT-anturit ovat ihanteellinen valinta nanometrin tarkkuudelle mittaaviin paksuusmittauksiin kiekoilla tai näytöillä. Absoluuttiset interferometrit tarjoavat erittäin tarkkoja etäisyys- ja paksuusmittauksia muun muassa puolijohdetuotannossa. InduSENSOR-sarjan induktiiviset pyörrevirta-anturit, capaNCDT-kapasitiiviset anturit ja mainSENSOR-magnetoinduktiiviset anturit tarjoavat lisäratkaisuja vaativiin tyhjiösovelluksiin, esimerkiksi ilmailuteollisuudessa.
Kaikki anturit valmistetaan tiukimpien standardien mukaisesti ja tarkastetaan säännöllisesti (esim. TENAX-näytteenotolla). Kompaktin rakenteensa, integroitujen ohjaintensa ja älykkäiden rajapintojensa ansiosta ne voidaan asentaa nopeasti ja integroida joustavasti olemassa oleviin järjestelmiin. Micro-Epsilon tarjoaa oikean mittaustekniikan jokaiseen tyhjiösovellukseen: räätälöitynä ja heti käyttövalmiina. Lisätietoja ja vinkkejä löytyy uusimmasta alan esitteestämme.