Siirry suoraan päänavigointiin Suora pääsy sisältöön Siirry alanavigointi-tilaan

Tarkkaa lasikiekkojen urien tunnistusta

Laadukkaiden puolijohdesirujen tuotanto edellyttää erittäin tarkkaa kohdistus- ja asemointitekniikkaa lasikiekkojen valmistuksessa. Tässä olennainen vaihe on urien tunnistus, jossa kiekossa olevien urien paikat tunnistetaan erittäin tarkasti. Urat toimivat viitekohteina seuraavissa työstö- ja käsittelyvaiheissa.

optoCONTROL CLS1000 -valokuituantureita käytetään tarkkaan urien tunnistukseen. Nämä huippumodernit anturit tunnistavat lasikiekkojen urien tarkat sijainnit ja mahdollistavat näin erittäin tarkan kohdistuksen. CLS1000-anturit erottuvat sijainnin ja etäisyyden mittauksessa edukseen korkean erottelu- ja mittaustarkkuutensa ansiosta. Lisäksi niiden ominaisuuksiin kuuluu kompakti muotoilu, helppo integroitavuus ja luotettavuus. Tehokkuutensa ansiosta ne ovat tärkeä työkalu puolijohdesirujen tuotannossa käytettyjen lasikiekkojen valmistuksessa.

Edut yhdellä silmäyksellä

  • Suuri erottelu- ja mittaustarkkuus tarkkaa sijainnin tunnistusta varten
  • Nopea, jopa 10 kHz:n reaktioaika ja 100 µs:n vasteaika
  • Yksinkertainen integroida jopa käytössä oleviin järjestelmiin
  • Alipaineyhteensopivat anturipäät