Kiekkojen tarkkaan paksuuden mittaamiseen käytetään kapasitiivisiä siirtymäantureita. Kaksi vastakkaista anturia tunnistavat paksuuden ja määrittävät muitakin parametreja kuten poikkeamia tai sahausjälkiä. Kiekon asento mittausvälissä saattaa vaihdella.
