Kiekkojen kallistuskulman mittaus

Kiekkojen tarkka sijainti on tärkeä osa kiekkojen käsittelyä. Kiekkojen syötön aikana valkoisen valon interferometrit mittaavat kiekkojen horisontaalisen kallistuskulman. Kiekon mittaamiseen käytetään kahta interferometriä. Micro-Epsilonin valkoisen valon interferometrit mittaavat absoluuttisia etäisyysarvoja alle nanometrin tarkkuudella. Mittauksen avulla voidaan varmistaa paras mahdollinen asemointitarkkuus poimittaessa ja poistettaessa kiekkoja.