Konfokaaliset anturit etäisyyden ja paksuuden mittauksiin erityisvaatimuksin
Confocal IFS2406 -sarja erottuu pienikokoisella rakenteellaan ja suurella tarkkuudellaan. Heijastavien tai läpinäkyvien pintojen etäisyysmittauksien lisäksi anturia voidaan käyttää läpinäkyvien kalvojen, levyjen tai kerrosten paksuuden mittaukseen yhdestä suunnasta. Akselinsuuntaisen ja säteittäisen mittaussuuntansa ansiosta IFS2406-2,5-anturit sopivat tyhjiösovelluksiin ja ovat muutoinkin erittäin monikäyttöisiä.
confocalDT IFS2406
- Mittausalueet (mm): 2,5 // 3 // 10
- Lineaarisuus: enint. 0,75 µm
- Erottelukyky: enint. 18 nm
- Etäisyyden ja paksuuden mittaus yhdestä suunnasta
- Pieni valopiste
- Tyhjiökäyttöön sopiva anturi
confocalDT IFS2406-3/VAC(001)
- Mittausalueet (mm): 3
- Lineaarisuus: max. 1,5 µm
- Resoluutio: max. 50 nm
- Etäisyyden ja paksuuden mittaus yhdeltä puolelta
- Pieni mittauspiste
- Anturi sopii vakuumi sovelluksiin
