Valkoisen valon interferometri luotettaviin paksuuden mittauksiin alle nanometrin tarkkuudella
Uusi valkoisen valon IMS5200-TH-interferometri avaa uusia mahdollisuuksia nopeassa ja luotettavassa paksuuden mittauksessa. Ohjauselektroniikassa on älykäs arviointitoiminto ja se mahdollistaa tarkan läpinäkyvien kohteiden paksuuden mittauksen 1 µm:n paksuudesta lähtien. Suuren 24 kHz:n mittausnopeuden ansiosta IMS5200-mallit sopivat erinomaisesti teollisuuskäyttöön.
Ominaisuudet
- Jopa 24 kHz:n mittausnopeus takaa nopeat ja vakaat mittaukset
- Helppo integroida laajan toiminta-alueen ansiosta
- Tarkka pinnoitteen paksuuden mittaus: 1–100 µm
- Multipeak: jopa 5 kerroksen monikerrosmittaus on mahdollista
- Teollisuuden tarpeisiin optimoitu anturi, jossa on kestävä metallikotelo
- Voidaan käyttää vakuumissa
- Helppo konfiguroida web-liittymän kautta
Luotettavaa paksuuden mittausta vaihtelevilta mittausetäisyyksiltä
Valkoisen valon IMS5200-TH-interferometriä käytetään erittäin tarkkoihin paksuuden mittauksiin. Laitteen merkittävänä etuna on etäisyydestä riippumaton mittaus, jossa nanometrin tarkat paksuusarvot saadaan mitattua jopa liikkuvista kohteista. 1–100 µm:n mittausalue mahdollistaa ohuiden läpinäkyvien kerrosten ja kalvojen mittaamisen.
Monikerroksinen paksuusmittaus
Multipeak ohjauselektroniikkaversion avulla useita signaalipiikkejä voidaan arvioida samanaikaisesti. Tämä mahdollistaa läpinäkyvien kohteiden ja laminoidun lasin monikerroksisen paksuuden mittauksen. Ohjauselektroniikka lähettää paksuusarvot erittäin vakaasti niiden sijainnista riippumatta.
Ihanteellinen valinta teollisuusympäristöihin
Kestävän anturin ja metallikoteloidun ohjauselektroniikan ansiosta järjestelmä sopii erinomaisesti tuotantolinjoille integroitavaksi. Kompaktin rakenteensa ja laajan toiminta-alueensa ansiosta anturi on helppo integroida. Se tuottaa vakaat mittaustulokset jopa tärisevässä ympäristössä. Ohjauselektroniikka voidaan asentaa sähkökaappiin DIN-kiskolla. Jopa 10 metriä pitkät kaapelit mahdollistavat anturin ja ohjauselektroniikan sijoittamisen etäälle toisistaan. Käyttöönotto ja parametrointi sujuu kätevästi web-liittymän kautta, eikä edellytä minkään ohjelmiston asentamista.
Lukuisia malleja vaativiin mittaustehtäviin
| Malli | Mittausalue / mittausalueen alku | Lineaarisuus | Mitattavissa olevien kerrosten määrä | Käyttökohteet |
|---|---|---|---|---|
| IMS5200-TH26 | 26 mm ±2 mm / 1–100 µm | < 1 nm | 1 kerros | Ohuiden läpinäkyvien kerrosten, kuten kalvojen ja lasipinnoitteiden mittaus |
| IMS5200-TH26/VAC | ||||
| IMS5200MP-TH26 | Jopa 5 kerrosta |