Micro-Epsilon interferoMETER -sarjan innovatiiviset valkoisen valon interferometrit tarjoavat absoluuttisia, kosketuksettomia etäisyysmittauksia maksimaalisella tarkkuudella. Uuden IMP DS35/VAC -anturimallin myötä Micro-Epsilon laajentaa anturivalikoimaansa mallilla, joka on erityisesti suunniteltu tyhjiöympäristöihin aina erittäin korkeavakuumialueelle asti. Anturi yhdistää noin 35 mm:n suuren mittausetäisyyden alle 1 nm:n resoluutioon, mikä tekee siitä erityisen sopivan vaativiin mittaustehtäviin, joissa tarkkuus, prosessin vakaus ja helppo integrointi ovat ratkaisevan tärkeitä.
Suuri siirtymäetäisyys uusia sovelluksia varten
IMP DS35/VAC tarjoaa 2,1 mm:n mittausalueen, joka alkaa noin 35 mm:n etäisyydeltä. Tämä mahdollistaa tarkat etäisyysmittaukset turvallisen välimatkan päästä – esimerkiksi lasikiekkojen valmistuksessa paikoituksen valvontaan tai pinnoitettujen kiekkojen mittaamiseen. Suuri etäisyys kohteeseen helpottaa myös mittauksia ahtaissa tai vaikeapääsyisissä paikoissa. Vain 15 µm:n kokoisen valopisteen ansiosta jopa pienet rakenteet voidaan havaita luotettavasti, ja ±1°:n mittauskulma varmistaa vakaat mittaustulokset haastavissakin asennusolosuhteissa.
Korkea tarkkuus yhdistettynä tehokkaisiin ohjaimiin
IMP DS35/VAC -anturissa on kestävä ruostumattomasta teräksestä valmistettu kotelo, ja se on suunniteltu käytettäväksi tyhjiöympäristöissä aina UHV-arvoon asti. Uusi anturi on saatavilla IMS5400- ja IMS5400MP-ohjaimille, ja se mahdollistaa alle 1 nm:n resoluution ja alle ±50 nm:n lineaarisuuden. Tämä tekee järjestelmästä sopivan erittäin tarkkoihin etäisyysmittauksiin nykyaikaisissa tuotanto- ja tarkastusprosesseissa. IMS5400MP-ohjaimella voidaan suorittaa myös monihuippuisia etäisyysmittauksia jopa 13 kerrokselle. Tämä avaa lisämahdollisuuksia läpinäkyvien, pinnoitettujen tai monikerroksisten materiaalien analysointiin.