Puolijohteet

Piikiekkojen tarkka paksuuden mittaus

Kiekkojen tarkkaan paksuuden mittaamiseen käytetään kapasitiivisiä siirtymäantureita. Kaksi vastakkaista anturia tunnistavat paksuuden ja määrittävät muitakin ...

Show details

Nanometrin tarkkaa asemointia laakapainokoneissa

Kiekon yksittäisten komponenttien valaisemiseksi laakapainokoneet siirtävät kiekon oikeaan paikkaan. Kapasitiiviset siirtymäanturit mittaavat liikematkan nanometrin tarkkuudella asemointia ...

Show details

Maskien sijoittaminen litografiassa

Litografia edellyttää korkeaa resoluutiota ja koneen liikkeiden pitkäaikaista mittausta parhaimman tarkkuuden saavuttamiseksi. Korkeat resoluutiot mahdollistavat maskien asemoinnin nanometrin ...

Show details

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
Vantaankoskentie 14
01670 Vantaa, Finland
jouko.kuosmanen@micro-epsilon.fi
+358 40 8484 109