Puolijohteet

Puolijohdeteollisuuden mittaustehtävät vaativat erittäin korkeaa tarkkuutta ja toistettavuutta. Micro-Epsilon tarjoaa oikean ratkaisun lukuisiin sovelluksiin tarkasta koneen asemoinnista aina piikiekkojen tarkastukseen ja topografisiin mittauksiin.

Kiekkoaseman asemointi kapasitiivisten anturien avulla

Kiekkoaseman tarkkoihin asemointitehtäviin käytetään kapasitiivisia siirtymäantureita. Nämä anturit mittaavat aseman sijainnin useasta kohdasta, mikä on hyödyllistä ...

Lue lisää...

Kiekkojen kallistuskulman mittaus

Kiekkojen tarkka sijainti on tärkeä osa kiekkojen käsittelyä. Kiekkojen syötön aikana valkoisen valon interferometrit mittaavat kiekkojen horisontaalisen kallistuskulman. ...

Lue lisää...

Sijainnin määrittäminen kiekon käsittelyn aikana

Kiekkojen käsittelyssä tarkka ja toistettava asemointi on erittäin tärkeää. Kiekkojen syötössä kaksi optoCONTROL-lasermikrometriä tarkastaa kiekon halkaisijan ...

Lue lisää...

Silikonikappaleiden mittojen tarkastus

Micro-Epsilonin laserprofiiliskannereita käytetään silikonikappaleiden geometrian tarkastamiseen. Ne tunnistavat silikonisauvojen geometrian kokonaan. Näin silikonilohkon geometriset ...

Lue lisää...

Vaijerisahojen taipuman valvonta

Vaijerisahoja käytetään kappaleiden leikkaamiseen yhdessä vaiheessa. Koska vaijeri altistuu runsaalle kulumiselle, vaijerin runkoa valvotaan useasta kohdasta kosketuksettomilla pyörrevirta-antureilla. ...

Lue lisää...

Sisäreikäsahojen aksiaaliliikkeen valvonta

Silikonikappaleiden leikkaamiseen käytetään sisäreikäsahoja. Kappaleen luotettava erottaminen varmistetaan valvomalla sahanterää tai sen pidikettä pyörrevirta-antureilla. ...

Lue lisää...

Piikiekkojen tarkka paksuuden mittaus

Kiekkojen tarkkaan paksuuden mittaamiseen käytetään kapasitiivisiä siirtymäantureita. Kaksi vastakkaista anturia tunnistavat paksuuden ja määrittävät muitakin ...

Lue lisää...

Piikiekkojen ulkonemien tunnistus ja mittaus

Ukonemien tarkistamisessa käytetään Micro-Epsilonin konfokaalisia siirtymäantureita. Ne tuottavat pienen valopisteen kiekkoon tunnistaen luotettavasti pienimmätkin osat ja rakenteet ...

Lue lisää...

Kiekkojen taipumat ja vääntymät

Konfokaaliset anturit skannaavat kiekkojen pinnan taipumien, vääntymien ja vääristymien tunnistamiseksi. confocalDT-ohjauselektroniikkojen mittausnopeus on 70 kHz, joten ne mahdollistavat ...

Lue lisää...

Sahausjälkien tunnistus ja mittaus

Sahausjälkien automaattisessa tunnistuksessa ja mittauksessa käytetään Micro-Epsilonin konfokaalisia antureita. Ohjauselektroniikan nopea pinnan korjaustoiminto säätelee valotusjaksoja, ...

Lue lisää...

Halkeamien ja murtumien tarkistus

Kiekon halkeamien ja muiden vikojen tunnistuksessa käytetään Micro-Epsilonin konfokaalisia antureita. Ne tunnistavat luotettavasti heijastavilta ominaisuuksiltaan vaihtelevat pinnat nopean ...

Lue lisää...

Läpinäkyvät kerrokset ja liimapisarat

Konfokaalisia antureita käytetään yksipuolisissa kerrosten paksuuksien mittauksissa. Konfokaalinen mittausperiaate mahdollistaa usean signaalihuipun arvioinnin, jolloin läpinäkyvien ...

Lue lisää...

Kiekkojen paksuuden mittaus / TTV

Konfokaaliset anturi mittaavat paksuuden vaihtelun (Total Thickness Variation) ja kiekon paksuuden molemmilta puolilta. Kiekon paksuusprofiilin perusteella voidaan laskea sen taipuma ja vääntymä. ...

Lue lisää...

Linssijärjestelmän asemointi litografiakoneissa

Kosketuksettomat pyörrevirtaan perustuvat induktiiviset siirtymäanturit mittaavat linssielementtien sijainnin, jotta kuvasta tulisi mahdollisimman tarkka. Linssijärjestelmästä ...

Lue lisää...

Kiekkoaseman asemointi

Kiekkoaseman asemointiin käytetään Micro-Epsilonin kosketuksettomia antureita. Ne mittaavat aseman erittäin dynaamisia XYZ-suuntaisia nopeasti kiihtyviä liikkeitä. Kapasitiiviset ...

Lue lisää...

Kiekkoaseman asemointi valkoisen valon interferometrien avulla

Micro-Epsilonin valkoisen valon interferoMETER IMS5600:aa käytetään kiekkoaseman asennon valvontaan. Se mittaa aseman XYZ-liikkeet kiihtyen erittäin nopeasti. Erittäin tarkan optisen ...

Lue lisää...

Nanometrin tarkkaa asemointia laakapainokoneissa

Kiekon yksittäisten komponenttien valaisemiseksi laakapainokoneet siirtävät kiekon oikeaan paikkaan. Kapasitiiviset siirtymäanturit mittaavat liikematkan nanometrin tarkkuudella asemointia ...

Lue lisää...

Maskien sijoittaminen litografiassa

Litografia edellyttää korkeaa resoluutiota ja koneen liikkeiden pitkäaikaista mittausta parhaimman tarkkuuden saavuttamiseksi. Korkeat resoluutiot mahdollistavat maskien asemoinnin nanometrin ...

Lue lisää...

Valkoisen valon interferometri litografiamaskin asemointiin

Litografiaprosesseissa parhaan tarkkuuden saavuttamiseksi vaaditaan suurta resoluutiota ja pitkäkestoisesti stabiilia koneen liikkeiden mittaamista. Erityisten arviointialgoritmien ja aktiivisen lämpötilan ...

Lue lisää...

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
Vantaankoskentie 14
01670 Vantaa, Finland
jouko.kuosmanen@micro-epsilon.fi
+358 40 8484 109