Puolijohteet
Puolijohdeteollisuuden mittaustehtävät vaativat erittäin korkeaa tarkkuutta ja toistettavuutta. Micro-Epsilon tarjoaa oikean ratkaisun lukuisiin sovelluksiin tarkasta koneen asemoinnista aina piikiekkojen tarkastukseen ja topografisiin mittauksiin.
Nanometrin tarkkaa asemointia laakapainokoneissa
Kiekon yksittäisten komponenttien valaisemiseksi laakapainokoneet siirtävät kiekon oikeaan paikkaan. Kapasitiiviset siirtymäanturit mittaavat liikematkan nanometrin tarkkuudella asemointia ...
Lue lisää...Piikiekkojen ulkonemien tunnistus ja mittaus
Ukonemien tarkistamisessa käytetään Micro-Epsilonin konfokaalisia siirtymäantureita. Ne tuottavat pienen valopisteen kiekkoon tunnistaen luotettavasti pienimmätkin osat ja rakenteet ...
Lue lisää...Silikonikappaleiden mittojen tarkastus
Micro-Epsilonin laserprofiiliskannereita käytetään silikonikappaleiden geometrian tarkastamiseen. Ne tunnistavat silikonisauvojen geometrian kokonaan. Näin silikonilohkon geometriset ...
Lue lisää...Kiekkojen taipumat ja vääntymät
Konfokaaliset anturit skannaavat kiekkojen pinnan taipumien, vääntymien ja vääristymien tunnistamiseksi. confocalDT-ohjauselektroniikkojen mittausnopeus on 70 kHz, joten ne mahdollistavat ...
Lue lisää...Läpinäkyvät kerrokset ja liimapisarat
Konfokaalisia antureita käytetään yksipuolisissa kerrosten paksuuksien mittauksissa. Konfokaalinen mittausperiaate mahdollistaa usean signaalihuipun arvioinnin, jolloin läpinäkyvien ...
Lue lisää...Sisäreikäsahojen aksiaaliliikkeen valvonta
Silikonikappaleiden leikkaamiseen käytetään sisäreikäsahoja. Kappaleen luotettava erottaminen varmistetaan valvomalla sahanterää tai sen pidikettä pyörrevirta-antureilla. ...
Lue lisää...Maskien sijoittaminen litografiassa
Litografia edellyttää korkeaa resoluutiota ja koneen liikkeiden pitkäaikaista mittausta parhaimman tarkkuuden saavuttamiseksi. Korkeat resoluutiot mahdollistavat maskien asemoinnin nanometrin ...
Lue lisää...Sahausjälkien tunnistus ja mittaus
Sahausjälkien automaattisessa tunnistuksessa ja mittauksessa käytetään Micro-Epsilonin konfokaalisia antureita. Ohjauselektroniikan nopea pinnan korjaustoiminto säätelee valotusjaksoja, ...
Lue lisää...Kiekkoaseman asemointi kapasitiivisten anturien avulla
Kiekkoaseman tarkkoihin asemointitehtäviin käytetään kapasitiivisia siirtymäantureita. Nämä anturit mittaavat aseman sijainnin useasta kohdasta, mikä on hyödyllistä ...
Lue lisää...Linssijärjestelmän asemointi litografiakoneissa
Kosketuksettomat pyörrevirtaan perustuvat induktiiviset siirtymäanturit mittaavat linssielementtien sijainnin, jotta kuvasta tulisi mahdollisimman tarkka. Linssijärjestelmästä ...
Lue lisää...Valkoisen valon interferometri litografiamaskin asemointiin
Litografiaprosesseissa parhaan tarkkuuden saavuttamiseksi vaaditaan suurta resoluutiota ja pitkäkestoisesti stabiilia koneen liikkeiden mittaamista. Erityisten arviointialgoritmien ja aktiivisen lämpötilan ...
Lue lisää...Halkeamien ja murtumien tarkistus
Kiekon halkeamien ja muiden vikojen tunnistuksessa käytetään Micro-Epsilonin konfokaalisia antureita. Ne tunnistavat luotettavasti heijastavilta ominaisuuksiltaan vaihtelevat pinnat nopean ...
Lue lisää...Vaijerisahojen taipuman valvonta
Vaijerisahoja käytetään kappaleiden leikkaamiseen yhdessä vaiheessa. Koska vaijeri altistuu runsaalle kulumiselle, vaijerin runkoa valvotaan useasta kohdasta kosketuksettomilla pyörrevirta-antureilla. ...
Lue lisää...Kiekkojen paksuuden mittaus / TTV
Konfokaaliset anturi mittaavat paksuuden vaihtelun (Total Thickness Variation) ja kiekon paksuuden molemmilta puolilta. Kiekon paksuusprofiilin perusteella voidaan laskea sen taipuma ja vääntymä. ...
Lue lisää...Kiekkojen kallistuskulman mittaus
Kiekkojen tarkka sijainti on tärkeä osa kiekkojen käsittelyä. Kiekkojen syötön aikana valkoisen valon interferometrit mittaavat kiekkojen horisontaalisen kallistuskulman. ...
Lue lisää...Kiekkoaseman asemointi valkoisen valon interferometrien avulla
Micro-Epsilonin valkoisen valon interferoMETER IMS5600:aa käytetään kiekkoaseman asennon valvontaan. Se mittaa aseman XYZ-liikkeet kiihtyen erittäin nopeasti. Erittäin tarkan optisen ...
Lue lisää...Kiekkoaseman asemointi
Kiekkoaseman asemointiin käytetään Micro-Epsilonin kosketuksettomia antureita. Ne mittaavat aseman erittäin dynaamisia XYZ-suuntaisia nopeasti kiihtyviä liikkeitä. Kapasitiiviset ...
Lue lisää...Sijainnin määrittäminen kiekon käsittelyn aikana
Kiekkojen käsittelyssä tarkka ja toistettava asemointi on erittäin tärkeää. Kiekkojen syötössä kaksi optoCONTROL-lasermikrometriä tarkastaa kiekon halkaisijan ...
Lue lisää...Piikiekkojen tarkka paksuuden mittaus
Kiekkojen tarkkaan paksuuden mittaamiseen käytetään kapasitiivisiä siirtymäantureita. Kaksi vastakkaista anturia tunnistavat paksuuden ja määrittävät muitakin ...
Lue lisää...