Puolijohteet

Nanometrin tarkkaa asemointia laakapainokoneissa

Kiekon yksittäisten komponenttien valaisemiseksi laakapainokoneet siirtävät kiekon oikeaan paikkaan. Kapasitiiviset siirtymäanturit mittaavat liikematkan nanometrin tarkkuudella asemointia varten.

Maskien sijoittaminen litografiassa

Litografia edellyttää korkeaa resoluutiota ja koneen liikkeiden pitkäaikaista mittausta parhaimman tarkkuuden saavuttamiseksi. Korkeat resoluutiot mahdollistavat maskien asemoinnin nanometrin tarkkuudella Micro-Epsilonin kapasitiivisia antureita käyttäen. Niiden tyhjiön kestävä rakenne mahdollistaa antureiden ja kaapeleiden käytön ultratyhjiössä.

Recommended sensor technology

capaNCDT 6200

Piikiekkojen tarkka paksuuden mittaus

Kiekkojen tarkkaan paksuuden mittaamiseen käytetään kapasitiivisiä siirtymäantureita. Kaksi vastakkaista anturia tunnistavat paksuuden ja määrittävät muitakin parametreja kuten poikkeamia tai sahausjälkiä. Kiekon asento mittausvälissä saattaa vaihdella.

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
Vantaankoskentie 14
01670 Vantaa, Finland
jouko.kuosmanen@micro-epsilon.fi
+358 40 8484 109