Puolijohteet

Piikiekkojen tarkka paksuuden mittaus

Kiekkojen tarkkaan paksuuden mittaamiseen käytetään kapasitiivisiä siirtymäantureita. Kaksi vastakkaista anturia tunnistavat paksuuden ja määrittävät muitakin ...

Lue lisää...

Kiekkojen taipumat ja vääntymät

Konfokaaliset anturit skannaavat kiekkojen pinnan taipumien, vääntymien ja vääristymien tunnistamiseksi. confocalDT-ohjauselektroniikkojen mittausnopeus on 70 kHz, joten ne mahdollistavat ...

Lue lisää...

Sahausjälkien tunnistus ja mittaus

Sahausjälkien automaattisessa tunnistuksessa ja mittauksessa käytetään Micro-Epsilonin konfokaalisia antureita. Ohjauselektroniikan nopea pinnan korjaustoiminto säätelee valotusjaksoja, ...

Lue lisää...

Piikiekkojen ulkonemien tunnistus ja mittaus

Ukonemien tarkistamisessa käytetään Micro-Epsilonin konfokaalisia siirtymäantureita. Ne tuottavat pienen valopisteen kiekkoon tunnistaen luotettavasti pienimmätkin osat ja rakenteet ...

Lue lisää...

Läpinäkyvät kerrokset ja liimapisarat

Konfokaalisia antureita käytetään yksipuolisissa kerrosten paksuuksien mittauksissa. Konfokaalinen mittausperiaate mahdollistaa usean signaalihuipun arvioinnin, jolloin läpinäkyvien ...

Lue lisää...

Kiekkojen paksuuden mittaus / TTV

Konfokaaliset anturi mittaavat paksuuden vaihtelun (Total Thickness Variation) ja kiekon paksuuden molemmilta puolilta. Kiekon paksuusprofiilin perusteella voidaan laskea sen taipuma ja vääntymä. ...

Lue lisää...

Halkeamien ja murtumien tarkistus

Kiekon halkeamien ja muiden vikojen tunnistuksessa käytetään Micro-Epsilonin konfokaalisia antureita. Ne tunnistavat luotettavasti heijastavilta ominaisuuksiltaan vaihtelevat pinnat nopean ...

Lue lisää...

Linssijärjestelmän asemointi litografiakoneissa

Kosketuksettomat pyörrevirtaan perustuvat induktiiviset siirtymäanturit mittaavat linssielementtien sijainnin, jotta kuvasta tulisi mahdollisimman tarkka. Linssijärjestelmästä ...

Lue lisää...

Kiekkoaseman asemointi

Kiekkoaseman asemointiin käytetään Micro-Epsilonin kosketuksettomia antureita. Ne mittaavat aseman erittäin dynaamisia XYZ-suuntaisia nopeasti kiihtyviä liikkeitä. Kapasitiiviset ...

Lue lisää...

Nanometrin tarkkaa asemointia laakapainokoneissa

Kiekon yksittäisten komponenttien valaisemiseksi laakapainokoneet siirtävät kiekon oikeaan paikkaan. Kapasitiiviset siirtymäanturit mittaavat liikematkan nanometrin tarkkuudella asemointia ...

Lue lisää...

Maskien sijoittaminen litografiassa

Litografia edellyttää korkeaa resoluutiota ja koneen liikkeiden pitkäaikaista mittausta parhaimman tarkkuuden saavuttamiseksi. Korkeat resoluutiot mahdollistavat maskien asemoinnin nanometrin ...

Lue lisää...

MICRO-EPSILON SENSOTEST AB
Vantaankoskentie 14
01670 Vantaa, Finland
jouko.kuosmanen@micro-epsilon.fi
+358 40 8484 109